Unipol-1203 12“ 高速自动 CMP 抛光机，带自动浆料进料器

12“ 高速自动 CMP 抛光机

产品描述

Unipol-1203是一款12英寸抛光机，专为化学机械抛光设计。抛光部件采用抗腐蚀材料，以避免化学腐蚀。该设备配备两个工作站，自动浆料供给系统和高精度抛光夹具，以满足加工需求。

产品参数

特点

- 超平不锈钢抛光盘（RMS：平整度 < 0.25 微米/平方英寸）。

- 高精度旋转盘径向偏差 < 5 微米。

- 彩色触摸屏用于抛光设置。

- 配备两个工作站，各自独立控制。

- 全自动控制面板，可调节旋转速度、支架速度和抛光时间等。

- 自动浆料供给系统，带有喂料速度控制。

- 高精度抛光控制器，用于调节压力和平整度。

- 机身采用抗腐蚀材料。

功率

• 208 - 240 VAC, 50 Hz, 450W

抛光板

- 尺寸：300 mm 直径

- 速度：1 - 240 rpm 可调

- 工作站：2 个

- 样品夹具直径：105 mm

- 调节环直径：127.5 mm

高精度抛光夹具（可选）

- 最大样品直径：100 mm (4")

- 最大样品厚度：12 mm

- 样品夹具行程距离：最大12 mm（垂直移动）

- 包含一个数字微米计，分辨率为±1微米，以实现更精确的抛光。

自动浆料给料机

- 溶液容量可达1.0加仑（约3.8升）。

- 可喂送任何颗粒尺寸小于40微米的研磨或抛光浆料。

- 旋转速度：8~20 RPM。

- 可升级为四通道自动浆料供给系统，需额外收费，详情请联系我们。

其他可选配件

- 自动压制机，用于金相样品准备。

- 六槽样品加载板可按需提供，需额外收费。

- 可在SUPSEMI订购抛光/研磨的消耗品，如砂纸圆盘、抛光垫、磁性和缓冲钢板以及钻石抛光膏。

规格尺寸

550 mm L × 700 mm W × 420 mm H （不含配件）

1,000 mm L ×700 mm W × 870 mm H （包含配件）

重量

72kg

保修

• 一年有限保修，终身支持

• 因储存条件或维护不当造成的生锈和损坏不在保修范围内

标准包装