EQ-Unipol-802 8英寸精密抛光机

8英寸精密抛光机

产品描述

EQ-UNIPOL-802机器配备8英寸超平抛光盘，可作为高精度抛光机，用于抛光直径可达3英寸的晶体元件、半导体晶圆和陶瓷基板。它还可以作为标准研磨和抛光机，用于准备金相样品。结合平面样品夹具（包含）、三孔金相样品夹具（可选）和精密薄化夹具（可选），Unipol 802可以自动抛光和研磨各种样品。

产品参数

功率	•AC08-240V（50/60Hz）。 •如果在110V以下使用，请订购500W变压器。
8"抛光盘	•平整度<2.5微米/英寸² •两个带晶圆架和调节环的摇摆工作站可以独立控制，一次抛光2块3英寸晶圆
铝制外壳	重型铸件，涂漆明亮（颜色：黑色）
两个工作站摇摆速度	• 8°摇摆，速度可调为0-20摇摆/分钟
两个平面样品夹具	• 直径80。x 35 T mm，用于承载直径小于3英寸的晶圆 • 对于样品边缘抛光，可以定制支架将其固定以进行抛光。
两个调节环	95 O.D. x 88 I.D. x 32 T mm
主盘速度范围	0~250 rpm变量，带数字显示
操作计时器	0 - 99 小时
发动机	300W高转矩直流电机
规格尺寸	525 L x 350 W x 325 H (mm)
重量	120 lbs
保修	- 一年有限保修，提供终身支持。 - 由于不当存储条件或维护导致的生锈和损坏不在保修范围内。操作手册
可选配件	- 2"抛光夹具，适用于精密/自动薄化和抛光。 - 配有三个1"孔的抛光样品夹具，支持高通量抛光（可处理2 x 3个样品）。 - 8"高纯度陶瓷抛光盘。 - 可根据要求提供铝土矿抛光台、样品夹具和调节环。

耗材：