分子真空泵 KT-150YCF

产品主要参数：

一：产品参数

1． 产品名称：分子泵真空机组

2． 产品型号：SUP-150YCF

3． 产品品牌：SUPSEMI

 二：功能要求

  科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等 

三：主要技术要求

1． 控制方式：手动人机界面控制

2． 前级泵：双极4旋片真空泵

3． 前级泵抽气速率：2.2L/S   （对真空环境要求洁净的客户可选配无油干泵）

4． 前级泵极限压强：≤5Pa

5． 分子泵：FF-100/150  51000转/分

2． 分子泵抽气速率：140L/S

3． 分子泵启动时间：≤2min

4． 空载极限压强：≤1X10-4Pa

5． 真空测量范围：冷阴极标准规管 1E﹢2到1E-5 Pa

6． 抽气接口：KF25

7． 阀门类型：KF25手动挡板阀

8． 系统电源：AC220V

9． 系统功率：1．5KW

10． 环境温度：5~32℃

11． 冷却方式：强制风冷却

12． 湿度: ≤80%

13． 噪音: ＜60分贝

14． 外形尺寸: 330X495X600mm

15． 重量: 55KG

四：主要配置要求

  1．1台 · 分子泵真空机组KT-150YCF主机

     2．1个 · 真空挡板阀KF25接口

     3.  3个 · KF25卡箍

     4.  1根 · KF25-1.5米波纹管

     5.  1根 · 电源线

     6.  1本 · 说明书