微型2英寸超高温真空热台光热催化反应设备材料失效分析

产品型号：SUP-Z10001R

品牌名称：Supsemi

产品描述：1000°热台主要应用于半导体、材料科学、纳米技术、光电子、薄膜技术等领域。

产品参数:

类型：实验室研究

高温加热方式：1000℃

体重：约1.1KG

腔体上的窗口尺寸：Φ42mm（可选凹形窗口，以减小窗口与样品之间的距离）

带腔室真空度的机械泵：≤5Pa（5分钟）

腔体正压：≤0.05MPa

腔室真空度分子泵：≤5E-3Pa（30分钟）

样品台材料：高温绝缘陶瓷

样品台尺寸：26x26mm

样品台加热方式：电阻加热

样品台窗口距离：13mm（可选凹形窗口，以减小窗口与样品之间的距离）

样品台温度传感器：S型热电偶

样品台温度：从室温到1000℃

样品台温度测量误差：±1℃

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