元素符号:铬靶材(Cr)
CAS:[不适用]
型号:Sup-Cr
纯度:3N5, 2N5
形状:圆形,方形
厚度:(可定制)
直径:(可定制)
(注:纯度、形状、厚度和尺寸均可定制)
Purity (%) | Density (g/cm3) | Grain Size(μm) | Total Metal Impurities(ppm) | Thermal Conductivity w/(m•℃) |
99.5% | ≥7.12 | ≤ 100 | ≤ 5000 | 60 |
99.95% | ≥7.12 | ≤ 100 | ≤ 500 | 100 |
一、铬靶产品详情介绍:
铬靶材是一种用于PVD技术生产薄膜的材料,在半导体制造、光学镀膜、磁盘制造等领域有广泛应用。通常情况下,铬靶材具有高纯度、均匀的化学成分,并且具有良好的加工性能和稳定性。
二、铬靶材的性质
1. 铬靶材具有良好的化学成分均匀性,因此能够生产出化学均一、物理性能稳定的薄膜。
2. 铬靶材的密度高,有利于提高薄膜的粘附力和耐腐蚀性。
3. 铬靶材的熔点高,使得使用铬靶材的PVD技术具有良好的耐高温性能。
三、铬靶材的应用
1. 在半导体制造领域,铬靶材被广泛用于制造集成电路等半导体器件。
2. 在光学镀膜领域,铬靶材被用于生产镜面薄膜和反射膜等。
3. 在磁盘制造领域,铬靶材则用于生产磁盘的读写头等部件。
四、PVD技术中铬靶材的作用
在PVD技术中,铬靶材被放置在真空腔室中,通过高能粒子的轰击将靶材表面的原子释放出来,然后沉积到基材上。铬靶材作为PVD技术中的靶材之一,主要用于制备高纯度的金属铬薄膜、硅基薄膜和断电体材料等。同时,铬靶材还可用于制备多层膜和复合膜等。
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