最大1700C氢气管式炉,带60mm铝管和氢气探测器
产品描述
GSL-1700X-S60HG管式炉设计用于在高达1700°C的氢气下安全加工材料。外径60mm的处理管由纯氧化铝制成,并配有一个氢气检测器,用于在检测到氢气泄漏时立即通过内置电磁阀切断氢气。该炉可用于各种惰性气体和氧气。精密温度控制器为加热曲线提供多达30个可编程段。
产品参数
炉膛结构 | •双层钢制外壳,带空气冷却功能,可保持炉面温度低于60°C。 •高纯度纤维氧化铝绝缘,实现最大节能。 •包括氢气探测器和电磁阀,以确保安全操作。 氢气炉必须置于通风橱之下。 |
功率 | • 最大3kW(需要20A断路器) |
电压 | • 交流电208-240单相,50/60赫兹 |
最大温度 | 1700°C ( < 1 hour ) |
连续温度 | 1600°C |
最大加热速率 | <=10°C/min(建议5C/min,以避免对氧化铝管产生热冲击) |
加工管 | •高纯度Al2O3陶瓷管,纯度>95% •51毫米(内径)x 60毫米(外径)x 800毫米长。 •包括两个纤维陶瓷管块,用于阻挡管内的热辐射(加热前,陶瓷块必须完全插入炉室)。 •石英块(可选)非常适合清洁的加工环境和更高的真空效率。 •对于60mm的管子,建议客户购买两对管子支架,以防止管子在高温下弯曲 |
加热区长度 | • 125 mm (5") |
恒温区 | • 50 mm (2") within ± 2° |
温度控制器 | •通过SCR(可控硅整流器)功率控制和相位角触发限流电阻器进行PID自动控制。 •30个可编程段,用于精确控制加热速率、冷却速率和停留时间。 •内置超温报警和保护功能,无需服务员即可操作。 •+/-1ºC温度精度。 •RS485通信端口。 •MET认证的30个可编程段,用于精确控制加热速率、冷却速率和停留时间。 •内置PID自动调谐功能,具有过热和热电偶损坏保护功能。 •超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作。 •+/-1ºC温度精度。 •RS485通信端口。 |
温度精度 | +/ - 1°C |
法兰和进气口 | •一对不锈钢真空法兰安装在管的两端,可实现高达10E-5torr的高真空和5PSI的正压。 •一个电磁阀安装在氢气入口法兰的左侧。它与氢气探测器相连。一旦检测到氢气泄漏(低于氢气爆炸点10%),进气阀将立即关闭。 •一个压力计安装在进气口的末端。氢气压力必须控制在5 PSI以下,可以通过不锈钢针阀进行调节。
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气体出口和流量计 | •在气体出口端安装一个16-160ml/min的浮子流量计,用于调节气体流量。 •安装了直径1/4“的不锈钢管,用于在气体流动过程中燃烧氢气。 •标准包装中包含一个长打火机,用于手动点燃氢气。 •包括一个6英寸长的颈部弯曲安全打火机,用于点燃氢气。 |
氢气探测系统 | •系统中集成了一个霍尼韦尔UL批准的Sensepoint气体探测器。 •工作温度范围:40ºF至+149ºF(-40ºC至+65ºC) •报警点:H2限制爆炸线20%(20%LEL)。 •一旦检测到H2气体超过该点,它将自动关闭H2的入口阀。 |
加热元件 | 超级1800级MoSi2加热元件(30 x 270mm) |
尺寸 | 445 x 380 x 615 mm (17.5" x 15.0" x 24.5") |
重量 | 230 lbs |
保修 | 电气和机械零件一年有限保修。(样品板和加热元件等易损件不在保修范围内,请订购相关产品的替换件。) 注意:使用腐蚀性和酸性气体造成的任何损坏不在SUPSEMI一年有限保修范围内。 |
联系人:Bruce Liu
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