Nombre del Producto: Centrífuga de Laboratorio Resistente a Ácidos y Bases con Bomba de Vacío
Modelo del Producto: VTC-200PV
Descripción del Producto: La máquina puede evacuar la cámara del recubridor, permitiendo que las muestras sean recubiertas en un estado de vacío completo. Esto es adecuado para el uso de materiales de película delgada que son propensos a la oxidación y deterioro en el aire. Al evacuar la cámara, la muestra se asegura utilizando un soporte de muestra.
Descripción del Producto
El VTC-200PV Revestidor Rotatorio de Vacío es adecuado para procesos de recubrimiento de superficies en semiconductores, cristales, discos ópticos y fotomáscaras. Esta máquina se puede utilizar para la preparación de recubrimientos con soluciones de ácido fuerte y de alta alcalinidad. Puede evacuar la cámara de recubrimiento, permitiendo que las muestras sean recubiertas en un estado de vacío completo, lo cual es ideal para materiales de película delgada que son propensos a la oxidación y deterioro en el aire. Durante la evacuación de la cámara, se utiliza un soporte de muestra para asegurar las muestras.
Cuando el VTC-200PV no está evacuando la cámara, utiliza un chuck de vacío para mantener las muestras en su lugar. Este equipo puede almacenar 12 conjuntos de programas, cada uno con 6 etapas operativas. El dispositivo rota a diferentes velocidades durante las diversas etapas, aumentando gradualmente hasta la velocidad máxima, lo que ayuda a asegurar una formación uniforme de la película en la superficie de la muestra sin desperdicio excesivo, ahorrando materiales.
El VTC-200PV Revestidor Rotatorio de Vacío es fácil de operar, conveniente de limpiar y compacto en tamaño, lo que lo hace principalmente aplicable en los laboratorios de universidades e instituciones de investigación para el proceso de generación de películas delgadas.
Parámetros del Producto
Nombre del Producto | Máquina de recubrimiento por centrifugado Lab resistente a ácidos y álcalis para cristal semiconductores. |
Modelo del Producto | VTC-200PV |
Condiciones de instalación | 1. Temperatura y Humedad: 1085% HR (a 25°C, sin condensación); Temperatura: 045°C. 2. Entorno: No debe haber fuentes de vibración fuerte ni gases corrosivos en las cercanías del equipo. 3. Agua: El equipo está equipado con un desagüe. 4. Energía: Monofásica: AC 220V, 50Hz, enchufe nacional de tres clavijas, 10A, debe tener buena conexión a tierra. 5. Gas: Presión negativa de vacío (bomba de vacío), con un flujo de bombeo de no menos de 70L/min (el equipo puede estar protegido por gas inerte). 6. Mesa de trabajo: Las dimensiones recomendadas son 800X600X700mm, con una capacidad de carga de más de 100KG (se prefiere una mesa de cemento sólido). 7. Ventilación: Sin requisitos especiales. |
Parámetros Principales | 1. Interfaz de Alimentación: Equipado con un enchufe de alimentación con fusible: AC220V 50Hz, especificación del fusible: 10A, φ5×20mm 2. Potencia Total: ≤600W (incluyendo la "bomba de vacío sin aceite" conectada de 450W) 3. Material de la Cámara Principal: Polipropileno 4. Soporte de Muestra (Chucks + Copas de Succión): Configuración estándar: 1 soporte de muestra tipo chuck (tamaños variables: 2", 3", 4") y 1 copa de succión de vacío de polipropileno Φ100 5. Modo de Operación: Puede almacenar 12 conjuntos de programas, cada uno con 6 etapas operativas 6. Velocidad de Recubrimiento: Rango efectivo de 500-6000 rpm 7. Aceleración/Desaceleración por Etapa: Rango ajustable: 100—2000 rpm/s 8. Tiempo por Etapa: Rango ajustable: 0-60 s 9. Estabilidad de Velocidad: ±1% 10. Método de Control: Microcontrolador PCB con control por botón y pantalla LCD LMC 11. Especificaciones del Producto: - Dimensiones: Unidad principal: Φ250mm×360mm; Caja de control: 330mm×380mm×150mm - Peso: 25 kg 12. Equipo de Soporte: - Bomba de Vacío Sin Aceite (Vacío de Muestra): - Modelo: AP-1400C/V, alimentada a través del enchufe de la unidad principal - Parámetros de voltaje: AC220V 50/60Hz, 2A, 0.45KW - Vacío final: -0.0933MPa, caudal: 150L/min - Bomba de Vacío Mecánica (Vacío de la Cámara de Recubrimiento): - Modelo: VRD-8, alimentada a través de un enchufe independiente - Parámetros de voltaje: AC220V 50Hz, 2.5A, 0.4KW - Vacío final: 5X10⁻²Pa, caudal: 8m³/h |
Accesorios Estándar
Item No. | Nombre del Producto | Qty |
1 | Copa de Succión de Vacío Φ100 mm | 1 set |
2 | Placas de Chuck: 2", 3", 4" | 1 set |
3 | Posicionador Central (Incluye 4 posiciones fijas) | 1 set |
4 | Dispositivo de Dosificación | 1 set |
5 | Vacío Sin Aceite | 1 set |
6 | Bomba de Vacío Mecánica de Doble Etapa VRD-8 | 1 set |
Accesorios Opcionales
Item No. | Nombre del Producto | Qty |
1 | Ventosas de Vacío de Otras Dimensiones | Optional |
2 | Pipeta | Optional |
3 | bomba mecánica | Optional |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
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邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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