元素符号:MgAl2O4
CAS:12004-41-6
型号:Sup-MgAl2O4
形状:晶片、晶圆或者晶锭
厚度:(可定制)
直径:(可定制)
(注:纯度、形状、厚度和尺寸均可定制)
铝酸镁(MgAl2O4)可以III-V族氮化物器件薄膜的衬底基片,同时广泛应用于声波和微波器件及快速 IC 外延基片,另外与外延硅薄层晶格匹配良好,衬底中铝原子向外延硅薄层内的自掺杂小,热稳定性好,与硅的膨胀系数较为接近,硬度较小,加工性能较好等,因此可以作为超高速大规模集成电路的优质绝缘衬底材料之一。目前我们可以提供最大直径2英寸的无孪晶、无晶畴、超光滑的高质量衬底基片(FWHM<50 arcsec,粗糙度Ra<0.5 nm)。
主要性能参数 | |
生长方法 | 提拉法 |
晶体结构 | 立方 |
晶格常数 | a=8.085Å |
熔点(℃) | 2130℃ |
密度 | 3.64g/cm3 |
莫氏硬度 | 8 |
颜色 | 白色透明 |
热膨胀系数 | 7.45×10-6 /℃ |
晶向 | <100>, |
尺寸 | 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, |
Ф1″,Ф2″, | |
厚度 | 0.5mm,1.0mm |
抛光 | 单面或双面 |
晶向 | <100>、<110>、<111>±0.5º |
晶面定向精度: | ±0.5° |
边缘定向精度: | 2°(特殊要求可达1°以内) |
Ra: | ≤5Å(5µm×5µm) |
包装 | 100级洁净袋,1000级超净室 |
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