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铝酸镁(MgAl2O4)晶体铝酸镁(MgAl2O4)晶体

铝酸镁(MgAl2O4)晶体

元素符号:MgAl2O4
CAS:12004-41-6
型号:Sup-MgAl2O4
形状:晶片、晶圆或者晶锭
厚度:(可定制)
直径:(可定制)
(注:纯度、形状、厚度和尺寸均可定制)

铝酸镁(MgAl2O4)可以III-V族氮化物器件薄膜的衬底基片,同时广泛应用于声波和微波器件及快速 IC 外延基片,另外与外延硅薄层晶格匹配良好,衬底中铝原子向外延硅薄层内的自掺杂小,热稳定性好,与硅的膨胀系数较为接近,硬度较小,加工性能较好等,因此可以作为超高速大规模集成电路的优质绝缘衬底材料之一。目前我们可以提供最大直径2英寸的无孪晶、无晶畴、超光滑的高质量衬底基片(FWHM<50 arcsec,粗糙度Ra<0.5 nm)。

主要性能参数

生长方法

提拉法

晶体结构

立方

晶格常数

a=8.085Å

熔点(℃)

2130

密度

3.64g/cm3

莫氏硬度

8

颜色

白色透明

热膨胀系数

7.45×10-6 /

晶向

<100>,

尺寸

10x310x510x1015x15,,20x1520x20

Ф1″Ф2″,

厚度

0.5mm1.0mm

抛光

单面或双面

晶向

<100><110><111>±0.5º

晶面定向精度:

±0.5°

边缘定向精度:

(特殊要求可达以内)

Ra:

≤5Å5µm×5µm

包装

100级洁净袋,1000级超净室


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