Coater de Spray por Centrifugado Infrarrojo Controlado por PLC para Recubrimiento de Semiconductores de Precisión VTC-200-4P

Coater de Spray por Centrifugado Infrarrojo Controlado por PLC para Recubrimiento de Semiconductores de Precisión VTC-200-4P

Nombre del Producto: Máquina de Recubrimiento por Spray por Centrifugado con Calentamiento Infrarrojo y Control PLC para Semiconductores

Modelo del Producto: VTC-200-4P

Descripción del Producto: El rociador centrífugo VTC-200-4P es adecuado para procesos de semiconductores, fotolitografía y aplicaciones de recubrimiento superficial. La sección de rotación, la sección de control de temperatura y la sección de inyección de líquido utilizan fuentes de energía independientes. El eje rotatorio del equipo es impulsado por un motor servo, que comienza rápidamente y opera de manera más estable, garantizando uniformidad y consistencia en el grosor de la película.

Descripción del Producto

1. Descripción General:

El rociador centrífugo VTC-200-4P es adecuado para procesos de semiconductores, fotolitografía y aplicaciones de recubrimiento superficial.

2. Material y Características:

La cámara del equipo está hecha de polipropileno, que presenta resistencia al calor, aislamiento eléctrico y excelente resistencia al desgaste, cumpliendo con diversos requisitos de proceso del cliente.

3. Potencia y Motor:

La sección de rotación, la sección de control de temperatura y la sección de inyección de líquido utilizan fuentes de energía independientes. El eje rotatorio del equipo es impulsado por un motor servo, que comienza rápidamente y opera de manera más estable, garantizando uniformidad y consistencia en el grosor de la película.

4. Sistema de Control:

El sistema de control de velocidad del motor servo utiliza un programador PLC altamente resistente a interferencias, asegurando que el husillo principal opere con alta precisión y estabilidad a velocidades que oscilan entre 100 y 2000 RPM.

5. Etapas de Operación:

El rociador tiene dos fases operativas durante su funcionamiento, que se pueden configurar de acuerdo con los requisitos del proceso antes del inicio.

6. Manejo de Muestras:

Para la fijación de muestras, se utilizan ventosas de vacío, lo que permite una fácil colocación y extracción, simplificando la operación.

7. Reducción de Ruido:

Además, la estructura de instalación incorpora medidas de absorción de impactos para reducir el ruido durante la operación. La cubierta superior de la cámara del rociador tiene una función de calentamiento, que puede calentar muestras, facilitando el proceso de recubrimiento para materiales de película viscosos.

8. Ventajas y Aplicaciones:

El rociador centrífugo VTC-200-4P es fácil de operar, conveniente de limpiar y compacto en tamaño. Se utiliza principalmente en laboratorios de universidades e instituciones de investigación para procesos de generación de películas.

Características del Producto

1. Fijación de Muestras:

La máquina utiliza ventosas de goma y plantillas de placa de acero magnético para asegurar las muestras, permitiendo una fácil colocación y extracción mientras simplifica la operación. Los tamaños de las ventosas de goma y las plantillas de placa de acero magnético se pueden personalizar según sea necesario.

2. Calentamiento Infrarrojo:

La cubierta superior de la máquina cuenta con una función de calentamiento infrarrojo, que mantiene una temperatura estable.

3. Diseño de Boquillas:

La cubierta superior tiene cuatro conjuntos de boquillas que rocían el coloide en forma de niebla sobre la superficie de la muestra, resultando en una película más uniforme.

4. Fuentes de Energía Independientes:

El motor, la sección de control de temperatura y la sección de inyección de líquido utilizan fuentes de energía independientes. El sistema de control de velocidad del motor emplea un PLC altamente resistente a interferencias, proporcionando pantallas numéricas intuitivas y confiables, con velocidades ajustables que oscilan entre 100 y 2000 RPM.

5. Fases de Operación:

El rociador tiene dos fases operativas durante su funcionamiento, permitiendo configuraciones de parámetros de "Tiempo 1," "Velocidad 1," "Tiempo 2" y "Velocidad 2" según los requisitos del proceso antes del inicio. Después de configurar, el rociador opera primero con los parámetros definidos para "Velocidad 1" durante la duración establecida en "Tiempo 1" (baja velocidad), permitiendo una dispersión gradual del material de recubrimiento. Una vez que finaliza "Tiempo 1," la máquina entra automáticamente en la fase "Tiempo 2" y opera con los parámetros establecidos para "Velocidad 2" (alta velocidad), logrando un recubrimiento más uniforme.

6. Arranque Rápido y Estabilidad:

El rociador centrífugo inicia rápidamente y mantiene velocidades estables, asegurando uniformidad y consistencia en el grosor de la película.

7. Reducción de Ruido:

La estructura de instalación incorpora medidas de absorción de impactos para reducir el ruido durante la operación.

8. Materiales Duraderos:

La cámara está hecha de polipropileno, lo que extiende su vida útil y mejora su resistencia a la corrosión química y su excelente resistencia al agrietamiento por tensión. El cuerpo de la máquina presenta una estructura de aluminio fundido, lo que la hace robusta, duradera y ligera.

Parámetros del Producto

Nombre del Producto	Máquina de Recubrimiento por Spray por Centrifugado con Calentamiento Infrarrojo y Control PLC para Semiconductores
Modelo del Producto	VTC-200-4P
Condiciones de instalación	1. Temperatura y Humedad: 10-85% HR (a 25°C, sin condensación); Temperatura: 0-45°C. 2. Condiciones Ambientales: No debe haber fuentes de vibración fuertes ni gases corrosivos alrededor del equipo. 3. Agua: Drenaje de aguas residuales. 4. Fuente de Alimentación: Monofásica: AC 220V, 50Hz, enchufe estándar nacional de tres clavijas, 10A, debe tener buena conexión a tierra. 5. Requisitos de Gas: - (1) Presión negativa de vacío (bomba de vacío) con un caudal de bombeo no menor a 70 L/min. - (2) Aire comprimido (compresor de aire). 6. Mesa de Trabajo: Tamaño recomendado: 1500 x 600 x 700 mm, con una capacidad de carga de más de 50 kg (se prefiere mesa de cemento sólido). 7. Ventilación: No hay requisitos especiales.
Parámetros Principales	1. Interfaz de Fuente de Alimentación: Toma de corriente con fusible: AC 220V, 50Hz. 2. Potencia Total: ≤1500W (excluyendo bomba peristáltica externa y compresor de aire). 3. Material de la Cámara de la Máquina de Recubrimiento: Polipropileno. 4. Soporte de Muestra (Ventosa): Una ventosa de vacío de aluminio de 4 posiciones (plato principal φ170mm, ventosas de 4 posiciones φ70mm). 5. Modo de Operación: Se encuentran disponibles dos fases operativas. 6. Velocidad de Recubrimiento: - Velocidad SPD1: 1002000 RPM (efectiva). - Velocidad SPD2: 1002000 RPM (efectiva). 7. Tiempo de Recubrimiento: Rango de tiempo de operación de cada fase: 1200 segundos. 8. Estabilidad de Velocidad: ±1%. 9. Método de Control: Motor servo + programador PLC + pantalla táctil. 10. Método de Calentamiento: Calentamiento por radiación (elemento calefactor de fibra de carbono). 11. Temperatura de Calentamiento: Rango de temperatura de calentamiento: RT100°C. 12. Potencia de Calentamiento: AC 220V, 1200W. 13. Precisión del Control de Temperatura: ±2°C. 14. Nota: El equipo opera con una fuente de alimentación estándar doméstica de AC 220V, 50Hz; los parámetros reales de la fuente de alimentación se basan en la placa de identificación en la parte trasera del producto. Los parámetros para la inyección de líquido, la rotación del recubrimiento y el calentamiento son todos configurados y controlados de manera independiente.
Especificaciones del Producto	Dimensiones: 500 mm (longitud) × 410 mm (ancho) × 330 mm (alto) Peso: 24 kg

Accesorios Estándar

Item No.	Nombre del Producto	Qty
1	Placa de acero magnético (φ160mm)	1 set
2	Ventosa (φ153mm)	1 set
3	Caja de control de temperatura	1 set
4	Plataforma vibrante	4 set