高低温探针台 SUP-Z165M4LT

SUP-Z165M4RT 精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性 材料中的电信号测试。

功能：

1.测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ26x26。

2.台面最高可升温到最高 400℃，室温到-190℃ 。

3.台面四周装有微型 3 轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。

4.该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa 分子泵可达＜-3Pa。

5.真空信号连接处使用军工级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。

6.使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由 3 轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接 测试仪器来测试电学信号。

三：主要技术要求 

1． 高低温型：室温到 400℃ 室温到-190℃ 

2． 温度显示：7 寸人机界面 

3． 温控精度：±0.5℃ 

4． 热电偶类型：PT100 高精度传感器 

5． 温控类型：标准 PID 温控 +自整定 

6． 温度分辨率：0.1℃ 

7． 温控输出：直流线性电源加热+液氮流速控制器 

8． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空 读数接口 

9． 温控器尺寸：约 32cmX17cmX38cm 

10． 温控器重量：约 5.6KG 

11． 程序温控：30 段程序控温 

12． 加热功率：≤300W 

13． 加热电源：AC220v 

14． 尺寸：约 230x230x125MM 

15． 重量：约 6kg

16． 腔体材质：304 不锈钢 

17． 加工方式：一体式 CNC 精加工 

18． 内腔体尺寸：约 137X57X21mm 容积 165ML 

19． 加热台尺寸：Φ26x26mm 

20． 样品台加热方式：电阻加热 液氮制冷 

21． 样品台测温传感器：PT100 型热电阻 

22． 样品台-视窗 距离：10mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） 

23． 样品台升温速率：高温 20℃/min 最大值 低温 7℃/min 

24． 观察窗内径：Φ42mm 

25． 观察窗材质：高透光石英玻璃 

26． 信号输出头：SMA 母头 配线 SMA 转 BNC 1.5 米 

27． 电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ 介质耐压≤500V 漏电流≤-10 次方安培 

28． 抽气口：KF16 法兰（其余接口规格可转接） 

29． 进气口：6mm 卡套 

30． 使用正压：≤O.05MPa 

31． 使用负压：机械泵可获得真空≤10Pa 分子泵可获得真空≤10 -3 Pa 

32． 探针规格：探针粗Φ0.5mm 探针尖 50μm（其他规格可选） 

33． 上下移动距离：2.5mm 

34． 前后移动距离：±10mm 

35． 左右旋转距离：120° 

36． 可扩展配件：气体液体注射口、4 芯电信号接头、8 芯电信号接头、SMA905 光 纤接口、扩展 5KV 高压电极、升级 30 段控温仪表

四：主要配置要求 

1．1 台 · KT-Z165M4RT 微型探针台一台 

2．1 台 ·触摸屏温控箱 

3. 1 个· 6mm 聚四氟管 

4. 1 根 电源线 

5: 2 个 6mm 金属内衬 

6： 1 根 触摸屏笔 

7： 4 个 SMA-香蕉插头 

8： 1 根 功率输出线 

9: 6 米 6mm 水冷管 

10： 1 套 K 型上盖扳手、备用螺丝，内六角 

选配: 分子泵真空机组 机械泵