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品牌：SUPSEMI
产品型号：SUP-Z1650
产品描述：SUP-Z1650是一款紧凑型台式蒸发器，蒸发功率可控。
尽管体积很小，但该仪器功能齐全，配备了电压和电流反馈、旋转样品台、样品高度调节和电动快门功能。
产品详情
SUP-Z1650 CVD是一种紧凑型台式蒸发器，具有可控的蒸发功率。尽管体积很小，但该仪器功能齐全，配备了电压和电流反馈、旋转样品台、样品高度调节和电动快门功能。
通过调节定时器上的预热和蒸发功率，它能够均匀地蒸发和沉积大多数金属。真空室由透明玻璃制成，可减少样品污染。旋转样品台允许更均匀的薄膜沉积，从而能够制备各种金属薄膜和有机薄膜。
| 设备名称 | |
| 控制模式 | 7英寸人机界面手册自动模式切换控制 |
| 涂层功能 | 0-999秒5级可调功率、挡板位置和采样速度程序 |
| 加热方式 | 数字功率调节器 |
| 最大功率 | ≤ 1200W |
| 输出电压和电流 | voltage ≤ 12V, current ≤ 120A |
| 真空机械泵 | ≤5Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa |
| 真空 | 机械泵≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
| 溅射真空 | ≤ 10Pa |
| 挡板类型 | 电气控制 |
| 真空室 | 直径为160mm x 160mm的透明玻璃室 |
| 样品台 | 可旋转直径为75（能够安装直径为68的基板） |
| 样品台速度 | 每分钟8转 |
| 样品溅射源调整距离 | 70-140mm |
| 蒸发温度调节 | ≤ 1800 ℃ |
| 支持蒸发坩埚类型 | 钨蓝，钨蓝坩埚，钨舟，碳绳、陶瓷坩埚、石英石、坩埚 |
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