GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

产品名称：紧凑型实验室蒸发涂层系统

产品型号：SUP-GSL-1800X-ZF4

产品描述：该机器具有一个真空度极高的金属室，达到5.0×10^-7托。样品台可以加热样品，温度范围从室温到500°C，使其成为高真空蒸发涂层的首选设备。

产品描述

SUP-GSL-1800X-ZF4蒸发涂层系统是一种高真空设备，特别适用于沉积对氧气（如Ti、Al和Au）和小有机分子敏感的金属薄膜。该系统具有四个蒸发加热船，每个船都可以独立运行。在加热舟上方，有一个旋转护罩，当一个钨舟运行时，它会覆盖其他三个钨舟，防止沉积材料之间的污染。通过一些配置变化，它还可以实现有机材料的蒸发涂层，满足光电器件和有机太阳能电池的研究要求。

该系统是涂层应用中具有高性价比的理想实验装置。SUP-GSL-1800X-ZF4在腔室底部配备了五个水冷电极，有效地保护电极在运行过程中不会过热和熔化，从而防止损坏。

产品特征

1.真空控制单元完全集成在一个控制箱中。

2.采用独立的蒸发电流控制器，操作方便快捷。

3.真空室配备一个KF40背压阀（直接连接到主机械泵以提高效率）、一个CF150闸阀（直接连接至分子泵）、一块KF16法兰（用于安装电阻计）和六块CF35法兰（一块用于离子计，一块用于双电极，三块备用）。

4.腔室底部有五个水冷电极，支撑着四个蒸发加热舟。

5.样品台安装在腔室的顶部。

6.腔室中可以安装高分辨率薄膜测厚仪，铝的测量分辨率为0.1Å。

7.可以使用循环水冷却器。

产品参数

名称	Compact Lab Evaporation Coating System
型号	SUP-GSL-1800X-ZF4
安装要求	本设备必须在以下条件下使用：温度25°C±15°C，湿度55%RH±10%RH。 1.水：设备配备自循环冷却水系统（使用纯化水或去离子水）。 2.用电：交流220V，50Hz，要求正确接地。 3.工作台：落地式，需要至少2平方米的空间。 4.通风：需要通风系统。
主要参数	1.输入：单相交流220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵） 2.蒸发输出：交流电压0-8V连续可调，最大蒸发电流200A，最大蒸发功率<1.6KW 3.真空室：Ø300mm（内径）×360mm（高度），不锈钢材质，内部电抛光 4.观察窗：Ø100mm，用专用密封圈密封 5.真空泵：高速涡轮分子泵，抽速600L/s 6.真空度：8.0×10^-4 Pa 7.极限真空度：8.0×10^-5 Pa 8.泄漏率：6.7×10^-8 Pa·L/S 9.样品台：φ120mm 10.蒸发船与样品台之间的距离：140-200mm 11.冷却水要求：15L/min 12.样品台加热温度：室温至500°C，具有自动温度控制和测量功能。
规格	尺寸: 900mm × 1100mm × 1800mm 重量: Approximately 230kg