SUP-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪

产品名称：小型实验室等离子溅射镀膜机

产品型号：SUP-1100X-SPC-16

产品描述：SUP-1100X-SPC-16单靶等离子体溅射系统是一种紧凑型等离子体溅射设备，能够溅射包括金、铂、铟和银在内的各种金属。

它可以容纳直径高达50毫米的样品，涂层厚度高达300Å，使其特别适合涂覆SEM样品的表面。

产品描述

SUP-1100X-SPC-16单靶等离子体溅射系统配备有用于样品溅射室的真空计和用于指示和监测仪器状态的溅射电流表。钟罩边缘特殊设计的橡胶密封圈可确保玻璃钟罩不会“碎裂”，即使长时间使用也会影响样品溅射室的真空度。

陶瓷密封高压头比常用的橡胶密封件更耐用。GSL-1100X-SPC-16结构紧凑，易于操作，适合在实验室环境中涂覆小样品。

产品特征

1.配备真空计和溅射电流表，用于实时监测运行状态。

2.通过调节溅射电流控制器和微真空阀，可以控制真空室中的压力、电离电流和电离气体的选择，从而获得优异的涂层效果。

3.钟罩边缘的橡胶密封圈经过特殊设计，即使长时间使用，也能防止玻璃钟罩“碎裂”。

4.陶瓷密封高压电极连接器比常用的橡胶密封件更耐用。

5.基于电场中的气体电离特性，采用大容量溅射真空室和适当尺寸的溅射靶，以确保溅射涂层更加均匀和纯净。

6.该系统还通过了CE认证。

产品参数

名称	小型单靶等离子体溅射镀膜设备
型号	SUP-1100X-SPC-16
安装要求	该设备需要在25°C±15°C的温度和55%RH±10%RH的湿度下运行。 1.水：不需要 2.电源：交流220V（110V可选）50Hz，必须有良好的接地 3.气体：设备室必须充满氩气（纯度99.99%或更高）；用户必须提供氩气瓶（带压力调节器） 4.工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承载能力50kg以上 5.通风：不需要
主要参数	1.电源：220V（110V可选） 2.总功率：<2000W（含真空泵） 3.真空室：Ø160 mm×120 mm 4.样品台：Ø50 mm，高度可调，最多可同时涂覆8个SEM样品 5.最大均匀涂层直径：Ø45 mm
规格	尺寸：400mm×300mm×400mm 重量：30kg