GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪

产品名称：小型实验室三靶薄膜等离子溅射镀膜机

产品型号：SUP-1100X-SPC-16-3

产品描述：SUP-1100X-SPC-16-3等离子体三靶溅射系统是基于直流溅射原理设计的。直流溅射沉积是指粒子在真空环境中轰击靶材，产生溅射效应，从靶材的固体表面喷射原子或分子，然后沉积在基板上形成薄膜的过程。

该技术是一种用于薄膜制备的物理气相沉积（PVD）技术，提供了一种简单、可靠、经济的涂层解决方案。

产品描述

SUP-1100X-SPC-16-3等离子体三靶溅射系统的独特之处在于，它在一个真空室内安装了三个靶。旋转样品台允许将三种不同材料顺序沉积到同一样品上。这使得它适用于在实验室制备各种复合薄膜样品，以及用非导电材料制造实验电极。

该设备结构紧凑，节省了实验室空间，易于操作，特别适合实验室使用。

产品特征

1.配备真空计和溅射电流表，用于实时监测运行状态。

2.通过调节溅射电流控制器和微真空阀，可以控制真空室中的压力、电离电流和电离气体的选择，以实现最佳的涂层效果。

3.钟罩边缘的橡胶密封圈经过特殊设计，即使长时间使用，也能防止玻璃钟罩“碎裂”。

4.陶瓷密封高压电极连接器比常用的橡胶密封件更耐用。

5.基于电场中的气体电离特性，采用大容量溅射真空室和适当尺寸的溅射靶，以确保溅射涂层更加均匀和纯净。

6.该系统还通过了CE认证。

产品参数

名称	等离子体三靶溅射系统薄膜三靶溅射涂层系统
型号	SUP-1100X-SPC-16
安装要求	该设备需要在25°C±15°C的温度和55%RH±10%RH的湿度下运行。 1.水：不需要 2.电源：AC 220V 50Hz，必须有良好的接地 3.气体：设备室必须充满氩气（纯度99.99%或更高）；用户必须提供氩气瓶（带压力调节器） 4.工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承载能力50kg以上 5.通风：不需要
主要参数	1.目标：Ø45毫米 2.真空室：Ø160 mm×120 mm 3.最大真空度：≤4×10⁻²mbar 4.目标数量：3 5.最大电流：50mA 6.最大可设置时间：900秒 7.微型真空阀：连接Ø3mm软管 8.最高电压：1600V DC 9.机械泵：2L/s
规格	尺寸：400mm×300mm×400mm 重量：30kg