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  • OTF-1200X-III-D5-4 1200℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)
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OTF-1200X-III-D5-4 1200℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)

产品名称:双石英管三区CVD炉,最高1200℃,用于生长石墨烯薄膜

产品型号:OTF-1200X-III-D5-4

产品描述:1200℃双管三区管式炉(用于石墨烯生长)OTF-1200X-III-D5-4的最高工作温度为1200℃,专为使用CVD方法在金属箔上生长薄膜材料而设计,如石墨烯、太阳能电池电极材料和其他电池电极材料。

产品描述

1200℃双管三区管式炉(用于石墨烯生长)OTF-1200X-III-D5-4的最高工作温度为1200℃,专为使用CVD方法在金属箔上生长薄膜材料而设计,如石墨烯、太阳能电池电极材料和其他电池电极材料。

产品特征

1.内腔表面涂有进口高温氧化铝,提高了加热效率,延长了仪器的使用寿命。

2.它采用双管设计,在使用过程中金属箔附着在内管上。

3.特殊的真空法兰允许反应气体通过两个管之间的空间,而冷却气体可以流过内管,以快速冷却基材。

4.它使用三个PID控制器,允许设置30段加热和冷却程序。

5.CE认证。

产品参数


名称双石英管三区CVD炉在金属箔上生长石墨烯薄膜
型号OTF-1200X-III-D5-4

安装条件

该设备需要在以下条件下运行:温度25°C±15°C,湿度55%Rh±10%Rh。

1.水:设备配备自循环冷却水机(填充纯化水或去离子水)。

2.用电:交流380V 50Hz(63A空气开关),要求适当接地。

3.气体:设备室需要填充氩气(纯度99.99%或更高);必须提供氩气瓶(带Ø6mm双卡套连接器)。

4.工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,载重量200kg以上。

5.通风系统:必需。

主要参数

1.电源:单相交流220V,50/60Hz,7KW(需要40A空气开关)。

2.石英管:

-外管外径为130mm,内径为122mm,长度为1480mm。

-内管外径为102mm,内径为94mm,长度为1540mm。

3.加热元件:NiCrAl电阻丝。

4.加热区:总长度900mm,I区长度229mm,II区长度457mm,III区长度229毫米。

5.恒温区:625mm(三个区设置为相同的温度)。

6.工作温度:最高1200℃,1200℃连续工作。

7.最大加热速率:20℃/min。

8.温度控制精度:±1℃。

炉体结构

1.三个加热区:(共900毫米,36英寸)

-1区:300毫米(11.8英寸)

-2区:300毫米(11.8英寸)

-3区:300毫米(11.8英寸)

2.如果在相同温度下设置三个区域,则最大长度为25英寸(625毫米),精度为+/-1°C。

3.三个精密温度控制器,30段可编程,精度+/-1°C。

4.最高工作温度:1200°C

5.连续工作温度:1100°C

6.加热速率:<=20°C/min

7.恒温区:长度为25英寸(625毫米)(三个区同时以相同的温度加热)


<a href=https://www.supsemi.com/en/CVD-Furnace.html target='_blank'>CVD Furnace</a> Temp.jpeg

工作管材

包括两个高纯度熔融石英管

外管:外径130mm x内径122mm x 1480mm

内管:外径102毫米x内径94毫米x 1800毫米

真空密封法兰

一对由SS304制成的法兰,通过两个高温O型圈(机械泵为10-2,分子泵为10-5)在管之间紧密密封。

法兰配有水冷套。当工作温度超过900°C时,需要使用冷却水。您可以使用自来水,也可以使用下图中的冷冻水循环

左法兰上安装了一个KF25适配器,用于连接真空泵。

右侧法兰上安装了一个不锈钢针阀

<a href=https://www.supsemi.com/en/CVD-Furnace.html target='_blank'>CVD Furnace</a> Left Flange.jpgCVD furnace Right Flange.jpg

规格

尺寸: 1030mm × 430mm × 580mm; 重量: 90kg.

CVD furnace.png

CVD furnace Left Flange.jpg

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