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SKJ-50晶体生长炉SKJ-50晶体生长炉

SKJ-50晶体生长炉

产品名称:高精度紧凑型Czochralski晶体生长炉,用于生长2英寸晶体

产品型号:SUP-SKJ-50

产品描述:SUP-SKJ-50晶体生长炉采用Czochralski法(也称为提拉法)生长高质量的氧化物和金属单晶,如蓝宝石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si和Ge。可以生长的最大晶体尺寸为3英寸。

产品描述

SUP-SKJ-50晶体生长炉使用Czochralski法(也称为提拉法)生长高质量的氧化物和金属单晶,如蓝宝石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si和Ge。可以生长的最大晶体尺寸为3英寸。(特殊技术要求可定制。)

产品特征

1.与同类产品相比,这是一种紧凑型晶体生长炉,适用于高校和研究机构。

2.电子天平允许在生长过程中自动控制晶体直径。

产品参数


名称高精度紧凑型Czochralski晶体生长炉
型号SUP-SKJ-50

安装条件

该设备要求在25℃±15℃的温度范围和55%Rh±10%Rh的湿度范围内运行。

1.水:设备配备自循环冷水机组(填充纯净水或去离子水)。

2.电源:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好的接地连接。

3.气体:设备室需要填充氩气(纯度99.99%或更高)。用户必须提供带Ø6mm双卡套接头的氩气瓶。

4.工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,载重量200kg及以上。

5.通风:需要。

主要

1.电源:三相380V,25KW

2.感应射频:功率25KW,频率0.2KHz-20KHz

3.真空室:Ø500mm×700mm

4.真空度:10⁻³torr(机械泵),10̿⁵torr(扩散泵)

5.最大拉拔行程:500mm

6.拉拔速度:0.1mm/h-20mm/h

7.种子棒转速:0-40rpm

8.最高熔化温度:2100℃

9.温度控制精度:<±0.2℃

10.冷却水:所需水压0.13MPa-0.18MPa,所需流量60L/min

11.移动速度:1mm/h至10mm/h可调

12.快速移动:手动

13.结晶转速:1转-50转/分

14.真空系统:机械泵和扩散泵

15.极限真空度:10⁻⁵torr

感应加热

功率35千瓦

频率1-20kHz

占空比100%

真空室304不锈钢水冷真空室

腔室尺寸Ø500×700毫米

观察窗80×300mm

-0.1-0.5MPa机械隔膜压力表

1/4“气体入口和出口

减压阀,<3psig

极限真空

3.75e-5 torr

温度测量

用于测量熔体温度的高温计。

Eurotherm 3000系列温度控制器

牵引机构

行程距离200毫米

拉拔速度0.03-30毫米/小时

转速1-60rpm

坩埚系统(可选)

最大坩埚尺寸Ø100×80mm

最大晶体尺寸,Ø2“×100 mm

请联系我们以获得更大的晶体生长,高达4英寸

冷坩埚生长系统(可选)

该系统还与冷坩埚晶体生长兼容,可生长高达2英寸的晶体

附加冷坩埚样品架

附加高频感应电源

仅用于冷坩埚冷却的额外冷水机组

详情请联系我们。

水冷却(可选)

水冷是可选的,但也是必需的。

MTI建议购买KJ6500冷水机

冷却能力50000英热单位/小时或14.5千瓦

水流量100L/min

规格

1.炉体:880mm×1250mm×2850mm

2.控制柜:680mm×540mm×1700mm

3.中频机柜:1100mm×500mm×1500mm

4.总重量:1500kg

Czochralski Crystal Growth Furnace.png

Czochralski Crystal Growth Furnace.jpg

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