产品名称:高精度紧凑型Czochralski晶体生长炉,用于生长2英寸晶体
产品型号:SUP-SKJ-50
产品描述:SUP-SKJ-50晶体生长炉采用Czochralski法(也称为提拉法)生长高质量的氧化物和金属单晶,如蓝宝石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si和Ge。可以生长的最大晶体尺寸为3英寸。
产品描述
SUP-SKJ-50晶体生长炉使用Czochralski法(也称为提拉法)生长高质量的氧化物和金属单晶,如蓝宝石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si和Ge。可以生长的最大晶体尺寸为3英寸。(特殊技术要求可定制。)
产品特征
1.与同类产品相比,这是一种紧凑型晶体生长炉,适用于高校和研究机构。
2.电子天平允许在生长过程中自动控制晶体直径。
产品参数
名称 | 高精度紧凑型Czochralski晶体生长炉 |
型号 | SUP-SKJ-50 |
安装条件 | 该设备要求在25℃±15℃的温度范围和55%Rh±10%Rh的湿度范围内运行。 1.水:设备配备自循环冷水机组(填充纯净水或去离子水)。 2.电源:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好的接地连接。 3.气体:设备室需要填充氩气(纯度99.99%或更高)。用户必须提供带Ø6mm双卡套接头的氩气瓶。 4.工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,载重量200kg及以上。 5.通风:需要。 |
主要 | 1.电源:三相380V,25KW 2.感应射频:功率25KW,频率0.2KHz-20KHz 3.真空室:Ø500mm×700mm 4.真空度:10⁻³torr(机械泵),10̿⁵torr(扩散泵) 5.最大拉拔行程:500mm 6.拉拔速度:0.1mm/h-20mm/h 7.种子棒转速:0-40rpm 8.最高熔化温度:2100℃ 9.温度控制精度:<±0.2℃ 10.冷却水:所需水压0.13MPa-0.18MPa,所需流量60L/min 11.移动速度:1mm/h至10mm/h可调 12.快速移动:手动 13.结晶转速:1转-50转/分 14.真空系统:机械泵和扩散泵 15.极限真空度:10⁻⁵torr |
感应加热 | 功率35千瓦 频率1-20kHz 占空比100% |
真空室 | 304不锈钢水冷真空室 腔室尺寸Ø500×700毫米 观察窗80×300mm -0.1-0.5MPa机械隔膜压力表 1/4“气体入口和出口 减压阀,<3psig |
极限真空 | 3.75e-5 torr |
温度测量 | 用于测量熔体温度的高温计。 Eurotherm 3000系列温度控制器 |
牵引机构 | 行程距离200毫米 拉拔速度0.03-30毫米/小时 转速1-60rpm |
坩埚系统(可选) | 最大坩埚尺寸Ø100×80mm 最大晶体尺寸,Ø2“×100 mm 请联系我们以获得更大的晶体生长,高达4英寸 |
冷坩埚生长系统(可选) | 该系统还与冷坩埚晶体生长兼容,可生长高达2英寸的晶体 附加冷坩埚样品架 附加高频感应电源 仅用于冷坩埚冷却的额外冷水机组 详情请联系我们。 |
水冷却(可选) | 水冷是可选的,但也是必需的。 MTI建议购买KJ6500冷水机 冷却能力50000英热单位/小时或14.5千瓦 水流量100L/min |
规格 | 1.炉体:880mm×1250mm×2850mm 2.控制柜:680mm×540mm×1700mm 3.中频机柜:1100mm×500mm×1500mm 4.总重量:1500kg |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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