产品名称:双石英管三区CVD炉,最高1200℃,用于生长石墨烯薄膜
产品型号:OTF-1200X-III-D5-4
产品描述:1200℃双管三区管式炉(用于石墨烯生长)OTF-1200X-III-D5-4的最高工作温度为1200℃,专为使用CVD方法在金属箔上生长薄膜材料而设计,如石墨烯、太阳能电池电极材料和其他电池电极材料。
产品描述
1200℃双管三区管式炉(用于石墨烯生长)OTF-1200X-III-D5-4的最高工作温度为1200℃,专为使用CVD方法在金属箔上生长薄膜材料而设计,如石墨烯、太阳能电池电极材料和其他电池电极材料。
产品特征
1.内腔表面涂有进口高温氧化铝,提高了加热效率,延长了仪器的使用寿命。
2.它采用双管设计,在使用过程中金属箔附着在内管上。
3.特殊的真空法兰允许反应气体通过两个管之间的空间,而冷却气体可以流过内管,以快速冷却基材。
4.它使用三个PID控制器,允许设置30段加热和冷却程序。
5.CE认证。
产品参数
名称 | 双石英管三区CVD炉在金属箔上生长石墨烯薄膜 |
型号 | OTF-1200X-III-D5-4 |
安装条件 | 该设备需要在以下条件下运行:温度25°C±15°C,湿度55%Rh±10%Rh。 1.水:设备配备自循环冷却水机(填充纯化水或去离子水)。 2.用电:交流380V 50Hz(63A空气开关),要求适当接地。 3.气体:设备室需要填充氩气(纯度99.99%或更高);必须提供氩气瓶(带Ø6mm双卡套连接器)。 4.工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,载重量200kg以上。 5.通风系统:必需。 |
主要参数 | 1.电源:单相交流220V,50/60Hz,7KW(需要40A空气开关)。 2.石英管: -外管外径为130mm,内径为122mm,长度为1480mm。 -内管外径为102mm,内径为94mm,长度为1540mm。 3.加热元件:NiCrAl电阻丝。 4.加热区:总长度900mm,I区长度229mm,II区长度457mm,III区长度229毫米。 5.恒温区:625mm(三个区设置为相同的温度)。 6.工作温度:最高1200℃,1200℃连续工作。 7.最大加热速率:20℃/min。 8.温度控制精度:±1℃。 |
炉体结构 | 1.三个加热区:(共900毫米,36英寸) -1区:300毫米(11.8英寸) -2区:300毫米(11.8英寸) -3区:300毫米(11.8英寸) 2.如果在相同温度下设置三个区域,则最大长度为25英寸(625毫米),精度为+/-1°C。 3.三个精密温度控制器,30段可编程,精度+/-1°C。 4.最高工作温度:1200°C 5.连续工作温度:1100°C 6.加热速率:<=20°C/min 7.恒温区:长度为25英寸(625毫米)(三个区同时以相同的温度加热) |
工作管材 | 包括两个高纯度熔融石英管 外管:外径130mm x内径122mm x 1480mm 内管:外径102毫米x内径94毫米x 1800毫米 |
真空密封法兰 | 一对由SS304制成的法兰,通过两个高温O型圈(机械泵为10-2,分子泵为10-5)在管之间紧密密封。 法兰配有水冷套。当工作温度超过900°C时,需要使用冷却水。您可以使用自来水,也可以使用下图中的冷冻水循环 左法兰上安装了一个KF25适配器,用于连接真空泵。 右侧法兰上安装了一个不锈钢针阀 |
规格 | 尺寸: 1030mm × 430mm × 580mm; 重量: 90kg. |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
二维码