OTF-1200X-S50-2F 紧凑型CVD炉

产品名称：CVD管式炉最大1200C，带2通道气体混合器，实验室真空泵

产品型号：OTF-1200X-S50-2F

产品描述：OTF-1200X-S50-2F迷你CVD炉是一种CE认证的分体式管炉，用于将样品加热到1200°C。KF25气体出口和数字真空计安装在右侧法兰中，用于与226L/m机械泵（带泵过滤器）连接。左侧法兰用于通过1/4英寸的气体管道连接2通道气体混合站。

产品描述

OTF-1200X-S50-2F迷你CVD炉是CE认证的分体式管炉，可将样品加热至1200°C。KF25气体出口和数字真空计安装在右侧法兰中，用于与226L/m机械泵（带泵过滤器）连接。左法兰用于通过1/4“气体管道连接2通道气体混合站。

精密温度控制器将提供30段加热和冷却步骤，精度为+/-1°C。该炉系统还包括一个防腐的皮拉尼电容隔膜计，用于对侵蚀性气体进行真空测量。此外，您可以通过数字真空计获得任何混合气体的准确压力读数。

产品参数

结构	•重型钢套管 •节能Al2O3纤维隔热材料
功率	• 1.75KW
输入电压	•AC110V（如需在交流220V下使用，请联系我们的技术支持团队）
温度	•最高1200ºC，持续时间<1小时 •1100ºC连续加热 •加热速率<=10C/min
工作管道	石英管：外径50mm x内径44mm x长600mm
加热区域	•加热区总长度：8英寸（200毫米）；恒温区：2.3英寸（60毫米）（+/-1°C）@900°C。 •下图左侧显示了整个加热区的温度分布。 •包括两个热块，必须放置在管内，如下图所示
温度控制器	•PID自动控制和自动调谐功能。 •30个可编程段，用于控制加热和速率冷却速率以及停留时间。 •过热和热电偶损坏保护。 •超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作。 •+/-1ºC温度精度。
双通道气体混合站	•两个浮动流量计，流速范围为16至100 mL/min •三个机械压力表（混合罐）：-0.1-0.15 MPa，（0.01 MPa/砂粒） •真空针阀由SS304制成 •背板上1/4英寸管道（尼龙或不锈钢）的三个管件 •紧凑型尺寸：340Lx300Dx 180H毫米（13.4英寸x12英寸x7英寸）
真空法兰和配件	•标准包装的真空配件： ○一个数字真空计，测量范围为0.00001~1000托 ○一个1/4“世伟洛克卡套管接头 ○两个KF-25快速夹具 ○一个600mm长的不锈钢真空波纹管 ○结构（如下图所示）
真空泵	•包括双级旋转叶片真空泵EQ FYP泵（156L/m），带集油器、排气过滤器、波纹管和KF-D25入口以及KF25夹具。 •真空压力可达1E-2托（50m-torr）
规格尺寸	尺寸： •熔炉：340 x 300 x 400毫米 •真空泵：440 x 160 x 300毫米 •加油站：340 x 300 x 180毫米
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购更换件）。