产品名称:用于人工智能材料研究的最大1200C最大6英寸自动RTP管式炉
产品型号:OTF-1200XS6-ASD
产品描述:OT F-1200XS6-ASD是一款外径6英寸、温度高达1200°C的自动管式炉。它通过PC一键式自动完成泵吹扫循环、气体流动、加热和冷却。
产品
OTF-1200XS6-ASD是一款外径为6英寸、温度高达1200°C的自动管式炉。它通过PC一键自动完成泵吹扫循环、气体流动、加热和冷却。在样品装载和检索机器人的帮助下,它可以全天候自主操作,以加速下一代材料的发现。它还支持远程PC控制、监控和数据记录,最多可连接8台炉。
产品参数
特点 | •208-240伏交流电,50/60赫兹,6千瓦 •循环冷冻水 |
自动化过程 | •样品装载(由机械臂辅助) •泵吹扫循环 •稳定的气流 •供暖、居住和制冷 •样本检索(由机械臂辅助) |
管式炉 | •双层钢结构,带保护罩。 •高纯度氧化铝纤维保温材料,节能效果更佳 •电动滑动样品台,用于样品装载和检索。 |
工作温度 | <1100°C |
加热区域 | 350 mm, 单区 |
加热元件 | FeCrAl: Mo |
加热速率 | ≦10°C/min |
管式材质 | 石英石, Ø150×600 mm |
温度控制器 | •PID可编程温度控制器 •多达50个温度段。 •控制精度±1°C |
法兰组件 | •304不锈钢水冷法兰 •Ø12推式连接冷冻水入口/出口 •每侧安装一个1/4英寸的压缩管作为气体入口和出口 •一个1/4“快速连接端口,用于现场温度测量 •一个用于产生真空的KF25端口 |
样品台 | •一个有4个腔的石英样品台。 •4个石英坩埚Ø40×30毫米(22毫升) •可根据要求提供不同材料的坩埚,如氧化铝、石墨、氧化镁。 •1-4英寸的晶圆架也可应要求提供。 •可应要求提供定制样品架。 |
控制面板 | •免费的基于LabVIEW的软件,用于远程PC控制、监控和数据记录 •以太网TCP/IP通信端口 •PC操作软件支持8台炉 •一台预装软件和通信电缆的笔记本电脑。 |
规格 | 尺寸:长1200毫米×宽860毫米×高1000毫米 重量:200公斤 |
保修 | 一年有限制造商保修(加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内,请在相关产品处订购更换件)。 |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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