OTF-1200X-80-F3LV 紧凑型单区CVD炉

产品名称：紧凑型CVD炉，最高1200C，带3通道气体混合器、真空泵和防腐真空计

产品型号：OTF-1200X-80-F3LV

产品描述：OTF-1200X-80-F3LV是一款通过CE认证的可溢式单区管式炉，配备直径80mm的石英管、机械真空泵和三通道气体流动系统。

产品描述

OTF-1200X-80-F3LV是一款通过CE认证的可旋转单区管式炉，配备直径80mm的石英管、机械真空泵和三通道气体流动系统。它可以实现高达10-2torr的最大真空度，并混合1-3种气体用于CVD或扩散。该炉系统还包括一个防腐的皮拉尼电容隔膜计，用于对腐蚀性气体进行真空测量。

产品参数

结构	•空气冷却双层钢外壳 •当外壳温度>55°C时，内置恒温器会自动运行冷却系统
功耗	• 2.5KW
输入电压	•交流208-240V单相，50或60 Hz
最高温度	• 1200℃
持续工作温度	• 1100℃
最大加热功率	<= 20℃ /min
加热区域长度	400mm
恒温区	150mm (+/-1°C)
温度精度	+/- 1°C
加热元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
管材	石英管：外径：80mm x内径：75mm x长度：1000mm
数字真空计	•具有陶瓷涂层传感器头的防腐蚀电容隔膜计，专为存在腐蚀性气体的真空测量而设计 •仪表安装在管式炉的真空法兰（右侧）上，提供宽测量范围（10^-5~1000torr）
温度控制器	•通过SCR（可控硅整流器）功率控制和相位角触发限流电阻器进行PID自动控制。 •30个可编程段，用于精确控制加热速率、冷却速率和停留时间。 •内置PID自动调谐功能，具有过热和热电偶损坏保护功能。 •超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作。 •+/-1ºC温度精度。 •RS485通信端口。
真空密封法兰	•两个不锈钢法兰，带真空计和阀门。法兰的泄漏率最大为6mtor/min，稳定条件下为2mtor/min。 •注意：对于24小时曲线显示，图表中跳过了X轴08:00:00~21:10:00的时间段；因此，存在陡峭的方差。
规格尺寸	尺寸： •熔炉：550 x 380 x 520毫米 •底部活动箱：600 x 600 x 597毫米
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购更换件）