OTF-1200X-80-F3LV-PTFE 1200C带PTFE法兰和气体混合器的可拆分单区管CVD炉

产品名称：1200C可分体式单区管CVD炉，带PTFE法兰和气体混合器

产品型号：OTF-1200X-80-F3LV-PTFE

产品描述：OTF-1200X-80-F3LV-PTFE是一种可分体式单区管式炉，配有直径80mm的石英管、机械真空泵和三通道气体流动系统。它可以实现高达10-2torr的最大真空度，并混合1-3种气体用于CVD或扩散。

产品描述

该炉系统具有PTFE气体系统，可提供不锈钢以外的防腐性能。包括一个防腐仪表、一个带冷阱的真空泵和PTFE系统。（气体混合器和法兰）

产品参数

结构	•双层钢制外壳，带空气冷却。 •当外壳温度>55°C时，内置恒温器会自动运行冷却系统。 •防腐蚀仪表，可对腐蚀性气体进行真空测量。 •带冷阱的真空泵可防止腐蚀性气体到达泵。 •PTFE气体混合器和法兰减少了与敏感表面的侵蚀性气体接触。
功耗	• 2.5KW
输入电压	• AC 208-240V 单相, 50 or 60 Hz
最高温度	• 1200℃
持续工作温度	• 1100℃
最大加热速率	<= 20℃ /min
加热区域长度	400mm
恒温区	150mm (+/-1°C)
温度精度	+/- 1°C
加热元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
管材	石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
数字真空计	•具有陶瓷涂层传感器头的防腐蚀电容隔膜计，专为存在腐蚀性气体的真空测量而设计 •仪表安装在管式炉的真空法兰（右侧）上，提供宽测量范围（10^-5~1000torr）
温度控制器	•通过SCR（可控硅整流器）功率控制和相位角触发限流电阻器进行PID自动控制。 •30个可编程段，用于精确控制加热速率、冷却速率和停留时间。 •内置PID自动调谐功能，具有过热和热电偶损坏保护功能。 •超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作。 •+/-1ºC温度精度。 •RS485通信端口。
真空密封法兰	•一套带真空计和阀门的PTFE法兰。
真空泵	•包括156 L/m双级旋转叶片真空泵，最大真空压力为10E-4 torr。 •包括不锈钢软管，用于连接管式炉。 •包括一个冷阱，用于捕获腐蚀性物质。
流量计和压力计	•一个PTFE三通道气体混合器安装在移动机箱内，用于监测气体流量。
规格	尺寸： •熔炉：550 x 380 x 520毫米 •底部活动箱：600 x 600 x 650毫米
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购更换件）。