OTF-1200X-II-F3LV 双区分体式管式炉

产品名称：CVD或扩散用带气体混合器、真空泵和防腐真空计的双区分体式管炉

产品型号：OTF-1200X-II-F3LV

产品描述：OTF-1200X-II-F3LV是一款
双区分体式管式炉，配有直径80mm的石英管、机械真空泵和三通道气体流动系统。它可以实现高达10-2torr的最大真空度，并混合1-3种气体用于CVD或扩散。

产品描述

OTF-1200X-II-F3LV是一款通过CE认证并即将通过UL/CSA认证的双区分体式管式炉，配备直径80mm的石英管、机械真空泵和三通道气体流动系统。它可以实现高达10-2torr的最大真空度，并混合1-3种气体用于CVD或扩散。该炉系统还包括一个防腐的皮拉尼电容隔膜计，用于对腐蚀性气体进行真空测量。

产品参数

炉体结构	•双层钢制外壳，带空气冷却。 •当外壳温度>55°C时，内置恒温器会自动运行冷却系统。
功耗	• 2.5KW
输入电压	• AC 208-240V 单相, 50 or 60 Hz
最高温度	1200℃
持续工作温度	1100℃
最大加热速率	<= 20℃ /min
加热区域长度	两个区域：每个区域200毫米（8英寸），加热区总长度400毫米
恒温区	•如果两个区域设置在相同的温度下，恒温区长10英寸（250毫米），温度差异为+/-1°C。 •如果只使用一个区域（中心区域），恒温区域长4.3英寸（110毫米），温度差异为+/-1°C。
最大加热速率	<= 20 °C /min (20 °C /min below 800°C; <5 °C /min over 1000°C)
温度精度	+/- 1°C
加热元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
管材尺寸和材料	石英管: 80 OD x 72 ID x 1000 L
数字真空计	•具有陶瓷涂层传感器头的防腐蚀电容隔膜计，专为存在腐蚀性气体的真空测量而设计 •仪表安装在管式炉的真空法兰（右侧）上，提供宽测量范围（10^-5~1000torr）
温度控制器	•通过SCR（可控硅整流器）功率控制和相位角触发限流电阻器进行PID自动控制。 •30个可编程段，用于精确控制加热速率、冷却速率和停留时间。 •内置PID自动调谐功能，具有过热和热电偶损坏保护功能。 •超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作。 •+/-1ºC温度精度。 •RS485通信端口。
真空密封法兰	•包括两个带KF25端口的不锈钢法兰、真空计和阀门。 •机械泵达到的最小真空压力为5.5 m-torr（5.5x10^-3torr）使用机械+分子泵，压力可达10^-5torr。 •泄漏率<5 m-torr/min，24小时后的稳定真空压力<2 torr。
真空泵	•包括156 L/m双级旋转叶片真空泵，带排气过滤器（220V单相）和不锈钢软管，用于连接管式炉。最大可弯曲真空压力为10^-2torr。 •选项：为了精确控制真空压力，我们建议您选择我们的交钥匙解决方案EQ-VPC-MV。这是一个带电动阀和仪表的真空压力调节系统。它控制的压力范围为10^-6torr~760torr。
规格尺寸	尺寸： •熔炉：550 x 380 x 520毫米 •底部活动箱：每个600 x 600 x 597毫米重量：60kg
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购更换件）。