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  • GSL-1700X-60-III-F3LV 1700C带气体混合器和真空的三区氧化铝管式炉
GSL-1700X-60-III-F3LV 1700C带气体混合器和真空的三区氧化铝管式炉

GSL-1700X-60-III-F3LV 1700C带气体混合器和真空的三区氧化铝管式炉

产品名称:1700C带气体混合器和真空的三区氧化铝管式炉,用于CVD或扩散

产品型号:GSL-1700X-60-III-F3LV

产品描述:GSL-1700X-60-III-F3LV是一种直径为60mm的三区管式炉。氧化铝管、机械真空泵和三通道气体流动系统,可以将样品加热到1700°C,实现高达5x10^-2 torr的真空度,并混合1-3种气体用于CVD或扩散。

产品描述

GSL-1700X-60-III-F3LV是一种直径为60mm的三区管式炉。氧化铝管、机械真空泵和三通道气体流动系统,可以将样品加热到1700°C,实现高达5x10^-2 torr的真空度,并混合1-3种气体用于CVD或扩散。该炉系统还包括一个防腐的皮拉尼电容隔膜计,用于对腐蚀性气体进行真空测量。

产品参数


 结构

•双层钢制外壳,带空气冷却。内部有两个冷却风扇,可保持外壳温度<55℃。

•用于Max的高纯度纤维氧化铝隔热材料,节能。

•通过三个精密温度控制器实现三个独立的加热区。

Furnace Structure.png

热块放置


Foam Block Installation.jpg


功率

10 KW

输入电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz


加热区域 

三个区域:总共25英寸(630毫米)的加热区(包括两个耐火隔板)

区域1:

•7.5英寸(190毫米)由4块U型SiC加热

•工作温度800-1400°C

•加热速率:10°C/min

区域2:

•10英寸(250毫米)由6块U型MoSi2加热

•工作温度800-1700°C

•最大加热速率:5°C/min

区域3:

•7.5英寸(190毫米)由4块U型SiC加热

•工作温度800-1400°C

•最大加热速率:10°C/min

管道尺寸和法兰

•纯度99.8%的铝管

•外径2-3/8英寸(60毫米)x内径2-1/8英寸(54毫米)x长度48英寸(1200毫米)

•包括带阀门和仪表的60毫米不锈钢真空密封法兰

•包括两个多孔陶瓷块,用于保护法兰免受热辐射


温度控制器

•三个精密温度控制器,分别控制三个区域。

•通过SCR(可控硅整流器)功率控制和相位角触发限流电阻器进行PID自动控制。

•30个可编程段,用于精确控制加热速率、冷却速率和停留时间。

•内置过热和热电偶损坏保护。

•超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作。

•+/-1ºC温度精度。

•RS485通信端口。

真空计

•具有陶瓷涂层传感器头的防腐蚀电容隔膜计,专为存在腐蚀性气体的真空测量而设计。

•仪表安装在管式炉的真空法兰(右侧)上,提供宽测量范围(10^-5~1000torr)。

Vacuum Gauge.jpg

真空泵

•重型旋转叶片真空泵(7.8 CFM-240 L/m),真空站内安装有两级排气系统。真空系统在抽真空30分钟内可以达到5x10^-2torr。(220V适用于美国以外地区)

•法兰上安装了一个KFD25适配器,用于连接真空泵。

三通道气体混合

和输送系统

•移动机箱内安装了三个气体流量计(精度为4%FS),能够监测气体流量(总共三种不同类型的气体)点击左侧图片查看详细规格

1) 紧凑型直读流量计,10-100cc/min。

2) 紧凑型直读流量计,16-160 cc/min。

3) 紧凑型直读流量计,25-250cc/min。

•一个压力计安装在移动推车内,能够监测混合罐的压力。

•移动推车上安装了4个不锈钢针阀

•提供两个气体流动管道供立即使用(一个管道来自两种混合气体,另一个是独立气体)

•可选:为了准确控制气体输送,您可以选择由精密数字质量流量计控制的三通道气体输送系统,但需要额外付费。

规格

尺寸:

•熔炉:863长x 457宽x 711高毫米(34长x 18宽x 28高英寸)

•燃气车:850毫米(长)x 600毫米(宽)x 700毫米(高)

重量:150公斤(炉)+100公斤(共550磅)

Warranty

一年有限制造商保修(加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内,请在相关产品处订购更换件)。

CVD Tube Furnace.png


<a href=https://www.supsemi.com/en/CVD-Furnace.html target='_blank'>CVD Furnace</a>.png



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