GSL-1700X-F3LV 1700C单区氧化铝管炉

产品名称：1700C单区氧化铝管炉，带气体混合器和真空，用于CVD或扩散

产品型号：GSL-1700X-F3LV

产品描述：GSL-1700X-F3LV管式炉是一种CE认证的氧化铝管式炉，配有机械真空泵和三通道气体流动系统，可以将样品加热到1700°C，达到5x10-2 torr的真空度，并混合1-3种气体用于CVD或扩散。

产品描述

GSL-1700X-F3LV管式炉是一种CE认证的氧化铝管式炉，配有机械真空泵和三通道气体流动系统，可以将样品加热到1700°C，实现高达5x10-2 torr的真空度，并混合1-3种气体用于CVD或扩散。该炉系统还包括一个防腐的皮拉尼电容隔膜计，用于对腐蚀性气体进行真空测量。

产品参数

名称	1700C单区氧化铝管炉，带气体混合器和真空，用于CVD或扩散
型号	GSL-1700X-F3LV
结构	•双层钢制外壳，带空气冷却。内部有两个冷却风扇，可保持外壳温度<55°C。 •高纯度纤维氧化铝绝缘，实现最大节能。
功率	5kW Max.
输入电压	AC 208-240V 单相, 50/60 Hz
最高温度	1700°C
最大加热速率	5°C/min
最大降温速率	5°C/min
加热区域长度	455mm (18")
恒温区	150(+/-1C)
温度精度	+/-1°C
加热元件	1800 grade MoSi2 (8 pcs)
管材和尺寸	•99.8%高纯度Al2O3陶瓷管 •内径：73毫米x外径：80毫米x 1000毫米长
数字真空计	•具有陶瓷涂层传感器头的防腐蚀电容隔膜计，专为存在腐蚀性气体的真空测量而设计。 •仪表安装在管式炉的真空法兰（右侧）上，提供宽测量范围（10^-5~1000torr）。
真空密封	•包括两个带数字真空计和阀门的不锈钢法兰。 •通过机械泵，真空压力可达5x10-2torr。 •泄漏率最大为6mtor/min，稳定时为2mtor/min，请单击图片。下面是CE认证的数字真空计测量的详细图表和数据：（对于整个24小时曲线显示，图表中通过X轴08:00:00~21:10:00的时间段被忽略，因此，其中变化很大）
气体流量计	•三个气体流量计（精度为4%FS）安装在移动式外壳内，提供气体流速监测器。 1）紧凑型直读流量计，10-100cc/min。 2）紧凑型直读流量计，16-160 cc/min。 3）紧凑型直读流量计，25-250cc/min。 •移动推车内安装了一个压力计，用于监测混合气体的压力。 •前面板上安装了四个不锈钢针阀，可独立控制气体路径。
氧气监测	氧气传感器可用于监测CVD系统中使用的气体的氧气水平，以防止或减少氧化。
规格	尺寸： •80毫米外径管式炉：550 x 500 x 700毫米长x宽x高 •燃气混合站：600 x 600 x 700mm •真空站：600 x 600 x 700mm 总重量：450磅
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购更换件）。