SUP-PCE-22紫外臭氧清洗机

产品名称：小型实验室紫外线臭氧清洗机

产品型号：SUP-PCE-22

产品描述：SUP-PCE-22紫外线臭氧清洗机是一种加热型紫外线臭氧清洗设备，加热温度可达150°C。该设备可用于清洁各种基材，为生产高质量薄膜奠定基础。

它特别适用于去除光致抗蚀剂、改善表面润湿性、清洁SEM和TEM样品以及用紫外光改性聚合物。

产品描述

紫外线臭氧清洗提供了一种原子级的清洁方法，该方法无酸且对材料无害，特别适合去除某些有机化合物。紫外线灯主要发出两种波长的光：185纳米和254纳米。

185nm的光将空气中的氧气转化为臭氧，而254nm的光可以破坏化合物中的键（尤其是碳-碳键）。因此，这两种波长的组合有效地去除了有机化合物。

产品特征

1.仅供室内使用；

2.温度范围：5-40°C；

3.相对湿度高达80%，最高温度为30.5°C，在40°C时线性降低至50%相对湿度；

4.主电源波动不超过额定电压的10%；

5.污染等级2级；臭氧水平（环境）测量值<45 ppb。

6.去除分子水平的污染物

7.紫外光固化胶粘剂

8.紫外线光催化

9.PDMS的氧化

10.蚀刻

11.清洁MEMS器件

12.清洁各种基板，如Si、Ge、GaAs和各种氧化物单晶基板。

Product Parameters

名称	高效紫外线清洗机紫外线臭氧清洗消毒灭菌设备
型号	SUP-PCE-22
参数	1.功率：最大350W 2.交流208~240V，单相50/60Hz
	腔室和样品台 1.不锈钢外壳 2.抽屉式样品台，便于放置和检索样品 3.样品台面积：310毫米x320毫米 4.安装在腔室上的臭氧通风装置 5.样品台与紫外灯之间的距离：20 mm-40 mm（可调） 6.样品台可以加热，最高温度为150°C 7.可设置20步加热和冷却程序，温度控制精度为+/-1°C 8.操作时间：0.01秒-99.9小时
	排气口 1.仪器后部安装了一个直径为80毫米的排气口。 2.请将橡胶管连接到排气口，将臭氧排放到实验室外。 3.仪器不包括橡胶管。
	紫外线灯 1.双波长汞灯 2.功率：55W 3.发射波长：254 nm和185 nm 4.使用寿命：2500小时（可更换） 5.照射面积：200 x 200毫米 6.可以清洁最大直径为12英寸、厚度为35毫米的晶体。
规格	尺寸: 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)；重量: 28kg