SUP-PCE-3等离子清洗机

产品名称：半导体表面处理系统小型实验室等离子体清洗机

产品型号：SUP-PCE-3

产品描述：PCE-3等离子清洁器具有耐热玻璃腔室，尺寸为Ø75mm×165mm。它提供三种可调的输出功率水平：6.8W、10.5W和18W。

配备真空泵，它可以在引入氩气等保护气体的同时对腔室进行抽真空，使其适用于清洁易氧化的物品。

产品描述

SUP-PCE-3等离子清洁器配备了一个尺寸为Ø75mm×165mm的耐热玻璃腔室，并提供三种可调的输出功率：6.8W、10.5W和18W。

2.该装置主要利用空气、氧气或氩气等气体产生的等离子体从基材上去除氧化物层和污染物。它还可以改变表面性质（如亲水性和疏水性），使其成为基材清洁和薄膜处理的理想工具。

3.在射频功率的影响下，去除率可达10nm/min。外延膜生长前对单晶材料进行预处理会显著影响生长过程。

4.SUP-PCE-3等离子体清洁器配备有真空泵，在引入氩气等保护气体的同时对腔室进行抽真空，使其适用于清洁易氧化的物品。

产品特征

1.使用可调射频电源，可以将设备设置为低、中或高功率。

2.台式机，结构紧凑，操作安全，环保，性价比高。

产品参数

名称	半导体表面处理系统小型实验室等离子体清洗机
型号	SUP-PCE-3
主要参数	1.输入电压：110V/220V，50Hz/60Hz（请提前选择），小于100W 2.射频输出频率：13.56MHz 3.等离子直流电源设置：低功率设置--680V，10mA，6.8W；中等功率设置——700V，15mA，10.5W；大功率设置——720V，25mA，18W 4.等离子室：Ø75mm×165mm，耐热玻璃，可拆卸前盖 5.进气口：主要根据被加工材料的特性，与N2、Ar、空气和混合气体等各种气体兼容 6.真空泵和阀门要求：>160L/min，极限压力200mtorr（0.27mbar）；可选数字真空计；针阀控制气体流量；配备三通阀，用于快速控制气体进气、密封等离子体腔室和用于清洁和蚀刻的排气。等离子和真空泵照片 Note:不允许使用易燃气体。
规格	尺寸：200mm×250mm×210mm 重量: 8kg