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SUP-PCE-6小型等离子清洗机SUP-PCE-6小型等离子清洗机

SUP-PCE-6小型等离子清洗机

产品名称:SUP-PCE-6小型实验室等离子清洗机

产品型号:SUP-PCE-6

产品描述:SUP-PCE-6小型等离子体清洁器的紧凑尺寸节省了宝贵的实验室空间。它配备了一个双旋转真空泵,在引入氩气等气体的同时对腔室进行抽真空,使其适用于清洁容易氧化的物品。

产品描述

SUP-PCE-6小型等离子体清洁器具有一个尺寸为160mm×190mm的石英室,使用3.0MHz射频电源,输出功率可调为7.2W、10.2W和29.6W。该机器主要使用空气、氧气或氩气等气体产生的等离子体从基材上去除氧化层和污染物。它还可以改变物体的表面特性(如亲水性和疏水性),使其成为基材清洁和薄膜处理的理想设备。

SUP-PCE-6小型等离子体清洁器的紧凑尺寸节省了宝贵的实验室空间。它配备了一个双旋转真空泵,在引入氩气等气体的同时对腔室进行抽真空,使其适用于清洁容易氧化的物品。

产品特征

1.控制面板的按钮和开关允许调整射频功率、真空泵的操作和清洁时间。

2.时间、功率和真空度等信息显示在一组四位数字管上。

3.安装三通阀,精确控制气体流量,用大气流量清洁腔室。气体入口接口为6mm推入式连接。

4.通过选择高功率射频电源,可以进行等离子体蚀刻和等离子体灰化实验。

产品参数

产品名称SUP-PET-6 Small Lab Plasma Cleaner Cleaning Machine
型号
SUP-PET-6 
参数

1.电源:交流220V 50/60Hz(110V可选)

2.输出功率:7.2W、10.2W、29.6W

3.真空泵功率:<500W

4.总功率:<600W

5.射频频率:3.0MHz,具有三个可调功率电平

6.等离子室:高纯度石英室Ø160mm×190mm,采用铝制可折叠法兰密封,具有Ø于45mm的观察窗

7.真空泵:120L/min,直连式双回转真空泵

8.极限真空度:50毫托

9.入口气体:能够引入各种气体以产生等离子体,如N2、Ar、H2、O2、空气和混合气体(根据材料特性选择),用于清洁和蚀刻。

规格

尺寸: 400mm×300mm×300mm

重量: 10.2kg


产品名称:

Item No.产品名称Note
12“-6”石英舟(用于固定基板)
可选
2

2-4通道质子或浮子气体混合系统

可选

Plasma Cleaner SUP-PET-6

Plasma Cleaner SUP-PET-6



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