产品名称:SUP-PCE-6小型实验室等离子清洗机
产品型号:SUP-PCE-6
产品描述:SUP-PCE-6小型等离子体清洁器的紧凑尺寸节省了宝贵的实验室空间。它配备了一个双旋转真空泵,在引入氩气等气体的同时对腔室进行抽真空,使其适用于清洁容易氧化的物品。
产品描述
SUP-PCE-6小型等离子体清洁器具有一个尺寸为160mm×190mm的石英室,使用3.0MHz射频电源,输出功率可调为7.2W、10.2W和29.6W。该机器主要使用空气、氧气或氩气等气体产生的等离子体从基材上去除氧化层和污染物。它还可以改变物体的表面特性(如亲水性和疏水性),使其成为基材清洁和薄膜处理的理想设备。
SUP-PCE-6小型等离子体清洁器的紧凑尺寸节省了宝贵的实验室空间。它配备了一个双旋转真空泵,在引入氩气等气体的同时对腔室进行抽真空,使其适用于清洁容易氧化的物品。
产品特征
1.控制面板的按钮和开关允许调整射频功率、真空泵的操作和清洁时间。
2.时间、功率和真空度等信息显示在一组四位数字管上。
3.安装三通阀,精确控制气体流量,用大气流量清洁腔室。气体入口接口为6mm推入式连接。
4.通过选择高功率射频电源,可以进行等离子体蚀刻和等离子体灰化实验。
产品参数
产品名称 | SUP-PET-6 Small Lab Plasma Cleaner Cleaning Machine |
型号 | SUP-PET-6 |
参数 | 1.电源:交流220V 50/60Hz(110V可选) 2.输出功率:7.2W、10.2W、29.6W 3.真空泵功率:<500W 4.总功率:<600W 5.射频频率:3.0MHz,具有三个可调功率电平 6.等离子室:高纯度石英室Ø160mm×190mm,采用铝制可折叠法兰密封,具有Ø于45mm的观察窗 7.真空泵:120L/min,直连式双回转真空泵 8.极限真空度:50毫托 9.入口气体:能够引入各种气体以产生等离子体,如N2、Ar、H2、O2、空气和混合气体(根据材料特性选择),用于清洁和蚀刻。 |
规格 | 尺寸: 400mm×300mm×300mm 重量: 10.2kg |
产品名称:
Item No. | 产品名称 | Note |
1 | 2“-6”石英舟(用于固定基板) | 可选 |
2 | 2-4通道质子或浮子气体混合系统 | 可选 |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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