SUP-PCE-6V小型等离子清洗机

产品名称：SUP-PCE-6V小型实验室等离子清洗机

产品型号：SUP-PCE-6V

产品描述：SUP-PCE-6V小型等离子体清洗机集成了射频等离子体发生技术、计算机控制技术和软件编程技术。它使用气体作为清洁介质，有效避免了液体清洁介质对被清洁物体的二次污染。

工作时，连接外部真空泵，清洗室中的等离子体轻轻冲洗待清洗物体的表面，可以在短时间内彻底去除有机污染物，清洗程度可以达到分子水平。

产品描述

SUP-PCE-6V小型等离子体清洗机的样品台可以配备加热功能和负偏压，以实现样品的离子蚀刻。此外，它可以在特定条件下根据需要改变某些材料的表面性能。该装置体积小，操作方便，应用广泛。

产品特征

1.使用气体作为清洁介质，避免了液体清洁介质对被清洁物体造成的二次污染。

2.能在短时间内彻底清除有机污染物。

3.清洗程度可以达到分子水平。

4.某些材料的表面性质可以在特定条件下根据需要进行改变。

5.清洗过程中的辉光放电可以增强某些特殊用途材料的粘附性、相容性和润湿性。

6.样品台可以配备加热功能和负偏压，以实现离子蚀刻。

7.广泛应用于半导体、光学、光电子、电子、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微流体等领域。

产品参数

产品名称	小型等离子体清洗机
型号	SUP-PET-6V
参数	1.电压：AC220V 10A（110V可选） 2.功耗：<500W（含真空泵） 3.射频电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz 4.腔体：Ø190mm×98mm 5.石英管：Ø180mm×55mm，壁厚7mm 6.内腔：Ø165mm×55mm 7.清洁电极：Ø120mm 8.样品架：直径150mm，有效尺寸140mm 9.样品台与电极的距离：15mm至50mm可调 10.排气管：Ø12mm 11.极限真空度：0.1Pa 12.工作真空度：60Pa-500Pa 13.气路数量：2（可选） 14.流量控制器数量：1、2 15.流量显示仪表：2通道 16.空气接口：Ø6mm 17.加热样品台：Ø100mm，加热样品温度200℃-500℃（可选） 18.冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa 19.工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度），无凝结
规格	尺寸: 245mm × 235mm × 460mm (excluding vacuum pump) 重量: 20kg (excluding vacuum pump)