SUP-PCE-8等离子清洗机

产品名称：小型实验室等离子清洗机

型号：SUP-PCE-8

产品描述：SUP-PCE-8等离子清洗机是一台相对较大的等离子清洗机，配备Ø8.5“×12”石英室和0至100W范围内的连续可调射频电源。使用的射频频率为13.56MHz。

该机器主要利用空气、氧气或氩气等气体的等离子体去除基材上的氧化层和污染物，还可以改变物体表面的性质（如亲水性和疏水性）。它是基材清洗和薄膜处理的理想设备。

产品特征

1.采用6英寸彩色触摸屏，可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵开启等。

2.内部配备0-500mm/min的质量流量计，可以精确控制进气流量。

产品参数

产品名称	半导体表面处理用紧凑型等离子体清洗机
型号	SUP-PCE-8
主要参数	1.电源：AC220V（110V可选） 2.射频功率：高达100W，0-100W可调 3.真空泵功率：<500W 4.总功率：<600W 5.射频：13.56MHz 6.等离子室：高纯石英室，外径Ø8.5“，内径Ø于8.2”，长度12“，采用铝制折叠法兰真空密封，法兰上有Ø; 60mm观察窗 7.极限真空度：50mtorr 8.气体注入：可以引入多种气体，如N2、Ar、空气、H2、O2和混合气体等。（取决于材料特性）清洁和蚀刻
规格	尺寸：620mm×450mm×600mm

可选配件

Item No.	产品名称	Note
1	300W和600W射频电源（用于等离子体蚀刻和等离子体灰化等实验）	可选
2	2“-6”石英舟（用于固定基板）	可选
3	2-4通道浮子气体混合系统	可选
4	2-4通道质子气体混合系统	可选
5	直连式双回转真空泵（240L/min）	可选
6	KF25波纹管	可选
7	KF25手动切断阀	可选