等离子清洗机 SUP-Z5KQX

40KHz等离子清洗机具有一个5升的隔间，采用固态电源技术，可提高效率。

它提供稳定的频率控制和监测观察窗口。非常适合半导体、PCB和表面活化应用，可用于工业和教育目的。

一：产品参数

2．产品型号：SUP-Z5KQX

3．产品品牌：SUPSEMI

二：功能要求

40KHz等离子清洗机的工作频率为40千赫（40,000赫兹），该清洗机内置仓体容积为5升，采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学样品清洗教学和实验等。

三：主要技术要求

1：供电电源	AC220V（AC110V可选)
2：工作电流	整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

3：等离子电源功率	300W可调
4：耦合方式	电容耦合
5：真空度	≤30Pa
6：腔体容积 7：载物规格	5L(内径152mmX深度280mm) 125mmX260mm
8：观察窗内径	Φ50
9：气体流量 10：气体路数	0—50ml/min（其他量程可选） 2路质量流量计+精密流量控制阀
11：过程控制	自动控制
12：清洗时间	手动开关
13：开盖方式	铰链侧开式法兰
14：外形尺寸	450x450x250mm
15：真空室温度	小于65°C
16：冷却方式	强制风冷