科研实验室等离子清洗机清洁机去胶机刻蚀机样品处理活化改性

产品名称：实验室用真空等离子清洗机

产品型号：SUP-S2DQX

品牌名称：Supsemi

产品描述：该等离子清洗机可用于实验室样品清洗、样品改性、活化和增加样品附着力。

SUP-S2DQX型等离子清洗机电源属于150W，13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

该清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验样品清洗和教学。

供电电源	AC220V（AC110V可选)
工作电流	整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率	150W
清洗频率	13.56MHz
频率偏移量	＜0.2MHz
特性阻抗	50欧姆，手动匹配
耦合方式	电容耦合
真空度	≤50Pa
腔体材质	高纯石英
腔体容积	2L(内径110MMX深度220MM)
观察窗内径	Φ65
气体流量	0—50ml/min（热式质量流量传感器*2个）
过程控制	自动切换
清洗时间	定时开关
开盖方式	铰链侧开式法兰
外形尺寸	约450x460x300mm
重量	23Kg
真空室温度	小于65°C
冷却方式	强制风冷
标配	KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。