元素符号:ZrSi
CAS:[不适用]
型号:Sup-ZrSi
纯度:3N5,3N,2N8,2N5
形状:圆形
厚度:(可定制)
直径:(可定制)
(注:纯度、形状、厚度和尺寸均可定制)
铬硅合金靶材(CrSi)是一种由铬(Cr)和硅(Si)组成的合金,广泛应用于半导体制造、薄膜沉积和光电器件等领域。由于其优异的物理和化学性质,铬硅合金靶材在高性能材料中占据重要位置。
### 物理化学性质
- 化学成分:主要由铬和硅组成,通常在不同的比例下生产,以满足特定应用需求。
- 密度:铬硅合金的密度通常在 6.0-7.2 g/cm³ 范围内,具体取决于合金成分。
- 熔点:熔点较高,通常在 1400°C 以上,适合高温应用。
- 硬度:具有良好的硬度和耐磨性,适用于要求高强度的应用。
- 导电性:良好的电导率使其适合用于电气和电子应用。
- 耐腐蚀性:铬的存在增强了合金的耐腐蚀性,能够抵御多种化学环境的侵蚀。
### 应用领域
1. 半导体制造
铬硅合金靶材作为掺杂材料,能够有效改善半导体材料的电学性能,提升器件的导电性和效率。
2. 薄膜沉积
在磁控溅射技术中,CrSi靶材用于生成高质量的导电薄膜,广泛应用于晶体管、二极管和其他电子器件的制造。
3. 光电器件
该合金可用作光电器件中的反射层或导电层,提高器件的光电转换效率和性能。
4. 高温应用
由于其高熔点和良好的热稳定性,铬硅合金在高温环境中表现出色,适用于高温气体传感器和其他高温电子元件。
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