SUP-VTC-200-CE半柜式清洗机

产品名称：半柜式半导体晶圆清洗机

产品型号：SUP-VTC-200-CE

说明：SUP-VTC-200-CE半柜清洗机采用直线导轨控制柱状液体流动，沿晶圆半径来回扫掠。它配备了去离子水清洗和氮气干燥功能，并利用高精度伺服电机控制晶片的旋转。

产品描述

SUP-VTC-200-CE半柜清洗机采用直线导轨控制柱状液体流动，沿晶圆半径来回扫掠。它配备了去离子水清洗和氮气干燥功能，并利用高精度伺服电机控制晶片的旋转。该操作通过七英寸全彩触摸屏进行管理。该机器具有一个全不锈钢机柜、一个耐腐蚀的透明观察盖和一个螺杆直线导轨。

其不锈钢内部设计经久耐用。伺服电机控制转速和时间，自动管理显影、清洁和干燥过程，确保显影和清洁过程具有良好的均匀性和可重复性。

产品特征

1.不锈钢半柜设计，带触摸屏操作

2.透明观察窗，具有排水和通风功能

3.可移动直线导轨清洗系统，行程可定制

4.可选配四通道清洗或氮气干燥系统

5.能够处理高达8英寸晶圆的基板，具有向下兼容性

6.可定制更大尺寸

产品参数

名称	半柜式半导体晶圆清洗机设备
型号	SUP-VTC-200-CE
参数	1.可调转速范围：20-10000rpm 2.可调加速范围：0-50000rpm/s 3.标准直线导轨行程：100mm；最大速度：100毫米/秒 4.标准双液喷涂系统，可选扇形或柱形喷嘴 5.标配两个10L不锈钢压力罐；其他规格可应要求提供 6.可选清洗液或氮气加热系统
规格	尺寸: 940 mm (L) × 800 mm (W) × 1100 mm (H)