元素符号:钒硼合金靶材 (VB)
CAS:[不适用]
型号:Sup-VB
纯度:4N, 3N5,3N
形状:圆形
厚度:(可定制)
直径:(可定制)
(注:纯度、形状、厚度和尺寸均可定制)
钒硼合金靶材是一种由钒 (V) 和硼 (B) 组成的合金材料,主要用于薄膜沉积技术。其优异的特性使其在特定高科技领域,例如半导体制造和耐磨涂层应用中具有显著的应用价值。
### 主要特性:
- 优异的机械性能:
- 钒元素赋予合金高强度和韧性,确保其在高负载条件下的稳定性。钒的抗拉强度可高达 900 MPa。
- 高硬度:
- 硼元素的加入显著提高了合金的硬度,通常达到 1500 HV(维氏硬度),使其适用于需要耐磨损的应用。
- 良好的导电性:
- 钒的良好导电性使其在电子领域具有应用潜力,电导率可达到 6.6 × 10^6 S/m。
- 耐腐蚀性:
- 在特定环境下展现出良好的耐腐蚀性能,尤其是在氯化物和酸性介质中,延长使用寿命。
### 应用领域:
- 薄膜沉积:
- 用于物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉积 (CVD) 工艺,沉积具有高硬度、耐磨性或特定导电性的薄膜。其沉积速率通常在 1-5 nm/s 之间。
- 半导体领域:
- 在特定高性能器件中,可作为互连材料或用于制造特殊功能薄膜。应用范围相对有限,但其独特的性能使其在某些特定应用中具有优势。
- 耐磨涂层:
- 高硬度特性使其成为制造耐磨涂层的理想材料,提升产品耐用性。在工业应用中,可承受的磨损率可低至 0.1 mm/1000 h。
- 材料科学研究:
- 作为重要的实验材料,用于新材料的开发和研究,适用于探索新型高性能合金。
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