产品描述
UNIPOL-1503型精密多功能研磨抛光机设有三个加工工位,是可进行大尺寸样品磨抛的桌面型磨抛机,适用于晶体、陶瓷、金属、玻璃、岩样、矿样、PCB板、红外光学材料(如硒化锌、硫化锌、硅、锗等晶体)、耐火材料、复合材料等材料的研磨抛光制样,是科学研究、生产实验理想的磨抛设备之一。
本机配置了Ø381mm的研磨抛光盘和三个加工工位以及一个蓝牙精确磨抛控制仪(以下简称:蓝牙机械手),两套滴料系统,非常适用于晶圆样品(≤Ø100mm)的减薄抛光,蓝牙功能可对材料厚度的数值进行检测,达到磨削目的数值自动停止,控制系统可自由设定磨抛工艺参数值,实现自动化研磨抛光。
技术参数
产品名称 | UNIPOL-1503精密多功能抛光机 |
产品型号 | UNIPOL-1503 |
安装条件 | 1、温湿度:10-85%RH (at 25℃ 无凝露) 温度: 5-45℃ ·真空负压(真空泵) 抽气流量不小于 70L/M(标配) ·压缩空气(空压机) 工作压力:≤ 0.2MPa(标配) 6、辅助设备 (需另行购买): 推荐:1、HEATER-3040 或 250 加热平台、 2、SKCH-1 型精密测厚仪 3、SKCS-1 型吹干机 |
主要参数 | 1、供电接口:三极电源插头:AC220V 50Hz 10A |
2、研磨盘驱动电机(主轴):交流伺服电机 | |
3、研磨盘转速:10-120rpm | |
4、研磨盘旋转方式:单向:逆时针旋转 | |
5、研磨盘规格:铸铁花盘、平面铝盘各1个 盘外径:φ381mm | |
6、载物盘规格:标配:平面载物盘2个 盘外径:Φ110mm | |
7、修盘环规格:标配:修盘环2个 盘外径:Φ143mm | |
8、研磨样品尺寸上限:4" | |
9、摆动研磨工位:3个 | |
10、摆臂驱动电机:永磁直流电机 | |
11、摆臂摆动速度:挡位调速控制:3-10挡 ;MAX摆动次数:≈10次/min | |
12、摆臂主动轮驱动电机:步进电机 | |
13、主动轮转速:1-300rpm可调 | |
14、蓝牙精确磨抛控制仪(机械手):标配:1工位、带真空吸附功能载物盘:Φ103mm(另外两工位可选配) | |
15、混料搅拌工位:2个 | |
16、混料搅拌速度:5-30rpm | |
17、混料筒容积:1.4Lx2 | |
18、悬浮液储液瓶容积:500mL×2 | |
19、滴料工位(蠕动泵):共计4个:搅拌滴液工位2个;悬浮滴液工位2个 | |
20、滴料泵速度:0.1-20rpm | |
21、排风系统:高速过滤排风系统 | |
22、研磨运行停止模式:时间模式/磨抛量模式 | |
23、控制显示方式:一体式控制:10寸触摸屏操作显示 | |
24、辅助功能: ·样品清洗喷头、真空过滤罐、排废气功能,可充保护气体接口 ·蓝牙功能:蓝牙连接后可进行实时数据反馈, | |
25、产品规格: ·尺寸:1000mm×800mm×1050mm /开门 1650×800mm×1050mm |
联系人:Bruce Liu
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