OTF-1200X-4-NW 生长纳米线CVD炉

安装条件

该设备需要在以下条件下运行：温度25°C±15°C，湿度55%Rh±10%Rh。

1.水：不需要。

2.用电：交流220V 50Hz，需适当接地。

3.气体：设备室需要充气；必须提供气瓶。

4.工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，载重量150kg以上。

5.通风系统：必需。

主要参数

1.额定电压：单相交流220V（110V可选），50Hz/60Hz。

2.额定功率：3KW（需要20A空气开关）。

3.石英管：外径110mm，内径102mm，长度381mm。

4.加热区：CVD炉400mm，加热器150mm。

5.工作温度：

-CVD炉最高1100℃（<2h），连续运行200℃-1000℃，最大加热和冷却速率10℃/min。

-加热器连续运行0-500℃，最大加热和冷却速率10℃/min。

6.温度控制精度：±1℃。

7.热电偶：K型。

8.右法兰：配备一个3英寸石英样品架，与石英挡板和法兰集成在一起，具有KF25真空快速接头和水冷连接（可选水冷器，防止O型圈熔化）。

9.左法兰：包含两个独立的1/4英寸端口，允许任何气体单独引入炉内；一个1/4英寸的端口将预热后的气体引入CVD炉，而另一个1/4”的端口引入未加热的气体，该气体通过炉内的T形结构与加热后的气体汇合。

紧凑型CVD炉系统，配备：

1. 4.33“外径x 4.05”内径x 29.13“长度石英管（外径110 x内径103 x长度740，mm）

2. 最高工作温度为1100ºC，精度为+/-1ºC

3. 右侧的水冷法兰可滑动，便于样品装载

4. 加热器和炉膛之间左侧的水冷法兰用于预热气体输入和密封

5. 左侧法兰上内置四通道进气口（直径1/8“的管子和管件）

6. 一个小型加热器连接在炉子的左侧法兰上，用于预热输入的气体、液体或蒸发固体化学物质，然后将其输送到CVD炉：

7. 1.2英寸直径x 6英寸不锈钢管作为加热室

8.加热器内部真空密封1英寸内径小石英管（图2）

9.最高工作温度400ºC（可应要求提供1000ºC加热器）

10. 左侧的法兰用于气体密封和输入

最大3600 W（需要20 A断路器）

加热区域

CVD炉：440毫米

恒温区：100mm

燃气加热器：150mm

工作温度

CVD炉：

最高加热温度：1100°C（<2小时）

连续工作温度：200~1000°C

最大加热和冷却速率：20°C/min

2.加热器：

连续工作温度：RT~600°C

最大加热和冷却速率：20°C/min

标准尺寸：长62英寸，宽18英寸，高23英寸

最大尺寸：80英寸长X 18英寸宽X 32英寸高（盖子打开，右侧法兰滑出）

1.冷水机

2.温度控制软件