元素符号:AlMn
CAS:[不适用]
型号:Sup-AlMn
纯度:3N5,3N,2N8,2N5
形状:圆形
厚度:(可定制)
直径:(可定制)
(注:纯度、形状、厚度和尺寸均可定制)
SnAgCuTi 合金靶材(锡银铜钛合金靶材)是一种重要的靶材,广泛应用于物理气相沉积(PVD)和其他薄膜沉积技术。由于其优良的物理化学性能,SnAgCuTi 合金靶材在半导体和电子器件制造中具有重要作用。
### 物理化学性能
- **化学成分**:主要由锡(Sn)、银(Ag)、铜(Cu)和钛(Ti)组成,锡的含量通常在90%左右,银、铜和钛的比例根据具体需求进行调整。
- **密度**:约 8.5 g/cm³(具体密度根据合金成分不同而略有变化)。
- **熔点**:锡的熔点约为 232°C (450°F),银的熔点约为 961°C (1762°F),铜的熔点约为 1085°C (1985°F),钛的熔点约为 1668°C (3034°F)。
- **导电性**:合金具有良好的导电性,适合于电气应用。
- **抗腐蚀性**:钛的添加增强了合金的耐腐蚀性,适合在各种环境中使用。
### 主要参数
- **合金成分**:锡含量通常在90%左右,银、铜和钛的含量可以根据具体应用要求进行调整。
- **机械性能**:抗拉强度可达到350-450 MPa,展现出良好的延展性和加工性。
- **硬度**:通常为60-90 HB(布氏硬度)。
### 半导体方面的应用
1. **靶材**
用于物理气相沉积(PVD)过程中,沉积 SnAgCuTi 合金薄膜,提供良好的电导性和机械性能。
2. **焊接材料**
用于电子器件的焊接,提供良好的连接性能和热导性。
3. **互连材料**
在半导体器件中用于电气互连,确保低电阻连接,提升信号传输效率。
4. **热管理**
用于散热器和热沉,帮助半导体器件有效散热,延长使用寿命。
### 其他方面的应用
1. **电子元件**
在各种电子元器件的互连和封装中使用。
2. **电池制造**
用于电池中的连接和封装材料,确保良好的电接触。
3. **自动化设备**
在自动化和机器人技术中用于连接和导电部件,提升设备性能。
4. **航天航空**
用于制造轻量化结构件,提升飞行器的燃油效率。
5. **医疗设备**
应用于医疗器械中的导电部件,确保设备安全和可靠。
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