SYJ-1610型精密划片机

产品名称：带空气轴承的最大6英寸晶圆精密切割锯

产品型号：SUP-SYJ-1610

产品描述：SUP-SYJ-1610精密分切机采用进口气浮主轴。它具有高精度、优异的刚性、高输出功率、低噪音和长使用寿命。主轴转速可独立设置，运行状态实时监控。XYZ轴采用进口直线导轨和滚珠丝杠。
Y轴采用全闭环控制，数学模型拟合以提高精度。工业计算机控制系统提供实时状态监控。

产品描述

15英寸工业级液晶触摸屏。所有操作都在屏幕上完成。具有自我引导的程序模式，具有多个可编程的工艺计划，以适应各种材料和切割模式。自动显微镜聚焦，能够随意在环形光和同轴光之间切换。工件对齐是通过直接点击图像进行快速对齐来实现的。水接触面由全不锈钢材料制成。

全封闭防水盖结构有效防止冷却液溢出和水雾泄漏，确保清洁的工作环境。切割空间配备自锁启动，包括压缩空气、冷却水和电源在内的多种保护措施，以及报警提示，以提高安全性。

产品特征

1.设计紧凑，节省空间。

2.操作简单，配备15英寸高精度触摸屏。

3.自动对齐，智能准确，减少人工干预。

4.变速刀具高度测量设计，安全可靠，有效保护刀片，包括非接触式高度测量功能，用于切割过程中的高度测量。

5.主轴等核心部件标配进口件，可根据要求进行调整。

6.主轴运行状态检测，具有工作室门自动锁定和安全信息提示功能。

7.可定制的特殊切割工艺和非标准设计。

8.切割精度高，设备稳定性好。

9.直驱转角标记号。

产品参数

名称	气承式晶圆精密切割锯
型号	SUP-SYJ-1610
主要参数	1.电源：220VAC±10%，单相 2.功率：3.0千瓦 3.主轴转速：3000至50000转/分 4.主轴输出功率：1.5kW 5.X轴切割行程：最大240毫米 6.X轴速度范围：0至400毫米/秒 7.Y轴切割行程：最大165毫米 8.Y轴单步定位精度：0.003 mm/5 mm 9.Y轴总误差最大：0.005毫米/160毫米 10.Z轴有效行程：最大30毫米 11.Z轴重复定位精度：0.001mm 12.Z轴刀具应用尺寸：φ50mm至φ60mm 13.θ轴驱动方式：DD电机 14.θ轴旋转范围：320° 15.θ轴分辨率：1“ 16.照明光源：LED环形灯+同轴灯 17.CCD：工业相机 18.显示器：工业级15英寸彩色液晶触摸屏 19.控制系统：PC基础+Windows XP 20.操作系统：Windows©XP 21.语言：英语
划片刀片	1.包括一对标准法兰，可容纳内径40mm x外径50.8-60mm x 0.035~0.35mm的切割刀片 2.可根据要求提供定制法兰。
规格	1.工作尺寸：Φ6“ 2.圆形工作台：Φ6“ 3.方形工作台：160mm×160mm 4.尺寸（宽×深×高）毫米：675×885×1665 5.净重：500公斤
水冷要求	预留Φ12MM连接口。建议使用带单独阀门的快速连接插头主轴冷却水：（1）推荐一台冷却能力为0.6马力、温度控制精度为±2°C的工业循环水冷却器（2）接口为φ6mm软管（详见汉威CA-0.6冷水机组）（3）可与切割冷却水共用同一取水口切割冷却水（1）管道长度应小于2米（2）压力应不小于0.3 Mpa （3）流量应不小于3l/min