OTF-1200X-RTP-5S 1200C 滑动式RTP管式炉

产品名称：滑动管式快速热处理炉最高1200℃

产品型号：OTF-1200X-RTP-5S

产品描述：OTF-1200X-RTP-5S是一种5英寸的滑动炉，带有电阻加热和电动滑动电机，用于快速加热和冷却。它能够实现每秒2°C/4°C的最大加热冷却速率，并将最大直径为4英寸的晶片退火至1200°C。

产品描述

OTF-1200X-RTP-5S是一款5英寸的滑动炉，带有电阻加热和电动滑动电机，可快速加热和冷却。它能够实现每秒2°C/4°C的最大加热冷却速率，并将最大直径为4英寸的晶片退火至1200°C。

产品参数

结构	-双层钢制外壳，空气冷却，确保炉壳≤60℃。 -独立温控单元，可远程操作 -300毫米长的加热区，100毫米恒温区，+/-3ºC -安装了一套滑轨，使炉子可以从一侧移动到另一侧。使用控制旋钮在变速时自动操作是可选的，但需要额外付费。 -真空法兰和数字真空计已安装，可立即使用。 -石英管：5英寸石英管（外径130mm x内径120mm x长1100mmL）配有气密法兰 -用石英舟退火直径最大为4英寸的晶片。
功率	交流电208-240V单相，50/60 Hz 3千瓦
工作温度	最高温度：1200℃<0.5小时连续：1100℃或更低
滑动控制	-镀铬钢制成的双滑轨 -滑轨长度：1200米 -滑动范围：450mm -可选：自动滑动由直流电机驱动。由温度控制器控制。加热程序完成后，炉子将以设定速度从右向左滑动。风扇将吹向加热区域，以实现快速冷却。
温度控制器	-两个PID自动控制器，具有30个可编程段，用于控制加热和冷却速率以及停留时间。 -内置过热和热电偶损坏保护。 -+/-1ºC温度精度。 -RS485通信端口。
加热和降温速率	-加热元件保护的建议加热速率：≤20°C/min -通过滑动预热的样品区域实现快速加热 -最大加热速率约为2ºC/S -通过在室温下将加热的炉子滑离样品区域来实现快速冷却。 -最大冷却速率约为4ºC/S
真空法兰	不锈钢真空法兰安装在管子的两端。左法兰：一个Φ6.35入口，带压力表一个截止阀。一个铠装热电偶端口右侧法兰：一个KF25端口一个带截止阀的气体出口。一个铠装热电偶端口
规格	- 1300x 550 x 600 mm (管式炉关闭) - 1300x 750 x 850 mm (管式炉开着) - 350x 250 x 410 mm (control box) 体重: 108 Kg
保修	一年有限，终身支持。（石英管、加热灯等易损件不在保修范围内）