OTF-1200X-S-50-DFSL 双滑动RTP管式炉

产品名称：用于热CVD的双面RTP管式炉，带50mm管法兰，最高1200C

产品型号：OTF-1200X-S-50-DFSL

产品描述：OTF-1200X-S-50-DFSL是一种轨道上的双滑动RTP管式炉。它是一种用于热CVD的工具，具有2“ODx55”L石英管和法兰，最高可达1200°C的工作温度。

产品描述

OTF-1200X-S-50-DFSL是一种轨道上的双滑动RTP管式炉。它是一种用于热CVD的工具，具有2“ODx55”L石英管和法兰，最高可达1200°C的工作温度。两个2英寸的管式炉可以在滑轨上滑动，以找到原料热蒸发/升华和薄膜沉积的位置。

将炉从一侧滑动到另一侧可以实现高达100°C/min的最大加热和冷却速率。可选的电动滑动、MFC气体输送和RF等离子发生器可用于以低成本轻松构建灵活的TCVD系统。

产品参数

结构	1.两台炉均为双层钢结构，最高工作温度1200°C 2.每台炉有一个200mm的加热区和一个60mm长的恒温区 3.炉膛底部安装有一对滑轨，可手动左右移动炉膛，最大滑动距离为400mm。 4.真空法兰安装后立即使用。
功率	需要AC 208-240V单相50/60 Hz 20A空气断路器总计2.5KW
最高文档	1200°C (<1 小时)
持续工作温度	1100°C
加热和降温速率	加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C); 7°C/sec (250°C - 350°C); 4°C/sec (350°C - 500°C); 3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (550°C - 650°C); 1°C/sec (650°C - 800°C); 0.5°C/sec (800°C - 1000°C); 降温速率: 15°C/sec (1000 - 950°C); 10°C/sec (950°C - 900°C); 7°C/sec (900°C - 850°C); 4°C/sec (850°C - 750°C); 2°C/sec (750°C - 600°C); 1.5°C/sec (600°C - 500°C); 1°C/sec (500°C - 400°C); 0.5°C/sec (400°C - 300°C); Note: 最大加热和冷却速率是通过将加工管的一侧预热到目标温度，然后将炉子滑到另一侧来实现的。您可以选择是否将样品放置在预热区域。
加热区域长度	每个炉子 200mm( ~8")
恒温区	60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)
温度控制器	两台炉采用PID自动控制，具有30个可编程段，可精确控制加热速率、冷却速率和停留时间。内置的超温报警和保护功能允许在无人值守的情况下操作。包括两个K型热电偶。
滑轨/桌子	镀铬钢双滑轨滑动长度：1200毫米包括一个滑动止动夹，用于固定炉子的位置。
认证	CE认证 NRTL或CSA认证可应要求提供，但需额外付费。
规格	尺寸: 1. 管式炉: 340 x 300 x 400 mm 2. 总尺寸:1600 x 430 x 500 mm ( 炉子+滑动 ) 体重: 102 Kg
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购更换件）。