产品名称:小型可编程温控蒸发镀膜系统
产品型号:GSL-1700X-SPC-2
产品描述:GSL-1700X-SPC-2紧凑型可编程温度控制蒸发涂层系统允许在200ºC至1500ºC(或1200ºC至~1700ºC)范围内进行程序设置和精确温度控制。
它可以沉积直径高达2英寸的薄膜样品。在蒸发涂层过程中,样品台可以旋转以获得更均匀的薄膜。
产品描述
GSL-1700X-SPC-2紧凑型可编程温度控制蒸发涂层系统具有广泛的应用,能够制备各种金属薄膜和有机薄膜。它广泛应用于电极和有机发光二极管(LED)的制造。其紧凑的设计有效地节省了实验室空间,操作简单,对不同材料的适应性强。因此,它被广泛应用于大学和研究机构的实验室。
产品特征
1.CE认证。
2.配备石英腔室,便于清洁和样品插入。
3.样品台可以旋转,使沉积薄膜的均匀性更好。
4.使用钨丝作为加热源,最高温度为1700°C,并配有专用的氧化铝舟用于样品装载(仅适用于1600°C以下;如果蒸发温度超过1600°C,样品应直接放置在钨篮中)。
5.坩埚底部安装热电偶,便于温度测量和控制。
6.系统可切换到手动调节模式,无需内部热电偶,允许直接手动控制输出电流。加热源温度可达2000°C,满足碳沉积等实验的要求。
7.可以将惰性气体引入真空室进行清洁,也可以引入反应性气体进行反应性蒸发涂层。
8.入口装有针阀,用于调节气体流量。
产品参数
名称 | 紧凑型可编程温度控制蒸发涂层系统涂层机 |
型号 | GSL-1700X-SPC-2 |
主要参数 | 1.电压:交流208V-220V,50Hz/60Hz,单相 2.最大功率:500W,电流30A 3.真空室:石英室,直径Ø6“ 4.样品台:直径Ø50mm;以5rpm的速度旋转;距蒸发源可调距离,范围60mm-100mm 5.最高温度:1700ºC 6.热电偶:S型热电偶,工作温度200ºC-1500ºC(可选B型热电偶,操作温度1200ºC-1700ºC) 7.温度控制精度:±1ºC,数字温度控制器,可设置30步加热和冷却程序 8.钨丝篮:2个 9.真空接口:KF40 10.真空计:数字耐腐蚀真空计PCG554,测量范围3.8×10^-5至1125torr 11.入口接口:1/4 NPS |
规格 | 尺寸: 440mm×330mm×630mm |
Optional Accessories
Item No. | 名称 | 数量 |
1 | 机械泵(带油污染过滤器)(真空度<10^-2 torr,能够蒸发Au和Ag等贵金属) | 可选 |
2 | 分子泵(实现高真空,真空度<10^-5 torr,适用于蒸发铝、镁、锂等易氧化材料) | 可选 |
3 | 低真空系统 | 可选 |
4 | 高真空系统 | 可选 |
5 | 等离子清洁器(在涂层前清洁基材,从而获得更好的薄膜附着力) | 可选 |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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