OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 - RTP炉旋转支架 12寸晶圆

OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 - RTP炉旋转支架 12寸晶圆

产品名称：实验室CSS和RTP炉，带旋转支架，用于薄膜涂层，最大12英寸晶圆

产品型号：OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

产品描述：OTF-1200X-RTP-II-CSS-300是一种先进的快速热处理（RTP）炉，专为在最高950°C的工作温度下涂覆高达12英寸晶圆的CSS（近空间升华）薄膜而设计。

产品描述

OTF-1200X-RTP-II-CSS-300是一种先进的快速热处理（RTP）炉，专为在最高950°C的工作温度下涂覆高达12英寸晶圆的CSS（近空间升华）薄膜而设计。

炉子由两组卤素加热器（顶部和底部）分别加热，最大加热速率为20ºC/s。顶部样品架可旋转，以实现均匀的涂层。它是研究CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池等新一代太阳能电池薄膜的绝佳工具，也可用于退火12英寸半导体晶片。

产品参数

结构	1.真空室（内径20英寸）由不锈钢制成，通过涡轮泵达到10-5torr 2.两个12英寸红外加热板位于腔室底部的顶部 3.顶部样品架可以1-10RPM的速度旋转，以实现均匀的薄膜沉积 4.最高工作温度为950℃，加热速率最高可达1200℃/分钟。 5.Eurotherm精密温度控制器，精度为+/-0.1℃ 6.触摸屏电脑控制所有加工参数
真空法兰	1.腔室尺寸：内径500mm x高460mm 2.内置两个直径60mm的石英窗，便于观察。 3.内置一个气密滑动挡板，用于在高真空下阻挡蒸发源/ 4.标准包装中有精密防腐数字真空计
加热器和样品架	1.两个红外加热器位于腔室的顶部和底部，间隙可调，范围为2-25mm。（图1） 2.加热器由不锈钢制成，带有水冷套，以保持隔热。 3.直径为12英寸的圆形晶圆支架内置于顶部加热器中，用于固定基板。 4.将石墨板放置在红外加热器的顶部，使加热更加均匀（图2） 5.顶部样品架可以1-10RPM的可调速度旋转 6.冷却加热器包括一台58L/min的循环水冷却器 pic.1 pic.2
控制系统	1.两个Eurotherm 3000数字温度控制器，具有24个可编程段，可独立控制顶部和底部加热器，精度为+/-0.1ºC。 2.所有操作，如温度曲线、真空压力、转速、转速和法兰升降，均由触摸屏计算机通过PLC控制。 3.计算机可以显示温度和真空曲线，并显示10个预设的加工程序。
工作温度	1.每个加热器的最高温度：≤950ºC。 2.两个加热器之间的最大温差：≤300ºC 3.最大加热：<8ºC/s（仅加热单个加热器） 4.最大冷却速度：<20ºC/s（600-100ºC）。
加热和降温速率	加热：<8ºC/s（仅加热单个加热器）冷却速度：最大<10ºC/s（600-100ºC）。
功率	208-240VAC，三相，50/60 Hz（380V AC三相可用）最大60KW（需要200A断路器）包括电源线，但没有插头
规格	尺寸：L 1450 X W 1250 X H2100 mm 重量: 490 Kg
保修	一年有限，终身支持。（石英管、加热灯等易损件不在保修范围内）