OTF-1200X-4-RTP-SL 可滑动RTP炉

安装要求

该设备需要在以下条件下运行：温度25°C±15°C，湿度55%Rh±10%Rh。

1.水：设备配备自循环冷却水机（填充纯化水或去离子水）。

2.用电：交流380V 50Hz（63A空气开关），要求良好接地。

3.气体：设备室需要填充氩气（纯度99.99%或更高）；必须提供氩气瓶（带Ø6mm双卡套连接器）。

4.工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，载重量200kg以上。

5.通风系统：必需。

主要参数

1.电源：单相208V-240V交流电，50Hz/60Hz，9KW。

2.石英管：外径Ø100mm，长度1400mm。

3.加热元件：红外线灯管。

4.加热室：Ø100mm×1400mm。

5.工作温度：最高温度1000°C（<1h），连续温度950°C。

6.温度控制精度：±0.5°C。

7.最大加热速率：100°C/s。

8.冷却速率：

-8.3°C/s（900°C-600°C）

-4.4°C/s（600°C-500°C）

-2.8°C/s（500°C-400°C）

-1.6°C/s（400°C-200°C）

-0.9°C/s（300°C-200°C）。

9.热电偶：K型，Ø6.35mm×610mm。

10.滑轨：采用厚钢管镀铬，由温控器自动控制；程序完成后，炉体以设定速度滑动。轨道长度为1200mm，滑动速度为0-70mm/s，滑动距离为340mm。

11.真空法兰：不锈钢；在>900°C的温度下运行时，必须使用水冷，冷却水流量为4L/min。

12.流量计：16ml/min-160ml/min。

13.真空度：10⁻³torr（机械泵），10̿⁵torr（分子泵）。

 1.双层钢制外壳，空气冷却，使炉子加热时间更长，最高可达1000ºC。

2.红外灯加热，加热速率高达~50ºC/S

3.安装了一套滑轨，通过控制旋钮，炉子可以以变速自动从一侧移动到另一侧。

4.真空法兰和数字真空计已安装，可立即使用。

5.退火直径最大为3英寸的晶片

交流电208-240V单相，50/60 Hz

9KW

900°C连续

注意：由于耐火材料较薄，RTP炉不应长时间加热。

最大加热速率：50ºC/s

最大冷却速率：8ºC/s（1000-600ºC，通过滑动炉远离样品）

高纯度熔融石英管

4英寸石英管（外径100毫米x内径94毫米x长1400毫米）

镀铬钢制成的双滑轨

滑轨长度：1200毫米

直流电机驱动

滑动范围：340mm

滑动速度：0-70mm/s；可调节

自动滑动由温度控制器控制。加热程序完成后，炉子将以设定速度从右向左滑动。风扇将吹向加热区域，以实现快速冷却。

真空法兰

不锈钢真空法兰安装在管子的两端。

右侧法兰：

铰链式法兰，便于样品装载

用于插入K型热电偶的1/4“直径馈通

内置带倒钩气体接头的针阀

左法兰：

包括数字真空计

KF25直角阀用于连接真空泵

包括一个用于真空释放的针阀

一年有限制造商保修（加工管、o型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在以下相关产品订购更换件）

CE认证

NRTL认证（UL61010）或CSA认证需额外付费。

规格

炉体460mm×330mm×520mm，

炉膛及滑轨1800mm×450mm×680mm；

重量：80公斤