SUP-OTF-1200X-5L-PE 滑动式PECVD炉系统

产品描述

SUP-OTF-1200X-5L-PE是一款等离子体增强化学气相沉积（PECVD）管式炉系统，包含300W射频等离子体源、130mm外径和122mm内径的石英管炉，以及配备冷阱的高品质真空泵。该PECVD炉是一种理想且经济实惠的工具，适用于沉积薄膜或从气态（蒸气）生长纳米线，支持最大4英寸晶圆的处理。

产品参数

单区1200°C分体式管式炉	- 最大温度1200ºC，1100ºC可连续加热 - 可编程精密数字温度控制器，具有30个温度段 - 加热区：880 mm；石英管尺寸：130外径 x 122内径 x 2000长 mm - 输入电源：208 – 240V交流电，单相，最大功率7KW - 包括真空密封法兰，便于立即使用 - 可选：三区炉，24英寸加热区，可另行收费更换
等离子体射频电源	- 输出功率：5 - 300W 可调，稳定性±1% - 射频频率：13.56 MHz，稳定性±0.005% - 反射功率：最大200W - 匹配：自动 - 射频输出端口：50 Ω，N型，母头 - 噪声：<50 dB - 冷却：风冷 - 电源：208-240VAC，50/60Hz - 注意：此射频电源可通过更换法兰接受最大50 - 80 mm的石英管
压片管	- 石英管：130外径 x 122内径 x 2000长 mm（5" x 79"），包括在内。 - 包括5"不锈钢真空法兰，带阀门和K25真空接口。 - 法兰上安装了一个抗腐蚀压力表 - 测量范围：3.8 x 10^-5 到 1125 Torr - 抗腐蚀，气体型独立 - 在大气下高精度和重现性，可靠的大气压力检测 - 快速的大气检测消除了等待时间，缩短了工艺周期 - 我们提供额外的24V 7Ah电池组作为压力表的电源，每次充电可维持30-40小时的电池寿命。
真空泵和阀门	- EQ-FYP泵安装在重型移动手推车内。 - 包括一个用于回收冷凝物的冷阱。 - KF25适配器和不锈钢管通过精密球阀连接泵和管法兰，方便用户插拔和立即使用。 - 处理管内可达到10E-2 Torr的真空。
温度控制器	- MET认证的30个可编程段，用于精确控制加热速率、冷却速率和保温时间。 - 内置PID自动调节功能，具有过热和断热偶保护。 - 过温保护和报警功能，允许无人值守操作。 - 温度精度±1 ºC。 - RS485通信端口。 - 高级温度控制（可选） - MTS02-Y温度控制软件包（适用于YD518P系列控制器）和15"笔记本电脑包可在选项栏中获得。 - 您可以将温度控制器升级为Eurotherm 350-4温度控制器，完全兼容LabVIEW。该包包括一个Eurotherm 3504程序控制器、一根通信电缆（RS485 - USB）和一张软件CD。
规格	尺寸： •熔炉：1100 X 450 X 670毫米 •净重：220磅 •运输重量：350磅
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内）