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产品描述
这种PECVD炉是一种用于生长纳米线和广泛材料CVD涂层的新工具，具有以下优点：
- 与传统CVD相比，所需的处理温度更低。
- 使用滑动炉体实现高加热和冷却速率。
- 双加热区可创建高达500ºC的热梯度。
- 管式炉的最大工作温度为1100ºC。
- 预热器的最大工作温度为1100ºC，用于加热气相或蒸发固体材料。
- 快速冷却和加热，适用于生长二维材料。
产品参数
双区分体式管式炉 | - 最大连续加热温度：1100ºC。 - 配备两个可编程精密数字温度控制器，具有30个段。 - 两个独立控制的加热区： - 每个加热区长度为200mm。 - 总加热长度为400mm。 - 如果两个区域以相同温度加热，则中心恒温加热区为250mm。 - 两个区域之间的最大温差为500ºC，配有热块。 - 输入功率：208 – 240V AC，单相，最大功率为4KW。
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等离子体射频电源 | - 输出功率：5 - 300W 可调，稳定性为±1%。 - 射频频率：13.56 MHz，稳定性为±0.005%。 - 反射功率：最大200W。 - 匹配方式：自动。 - 射频输出端口：50 Ω，N型，母头。 - 噪声：<50 dB。 - 冷却方式：风冷。 - 电源：208-240VAC，单相，50/60Hz。
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预热炉 | - 小型管式炉，单加热区长度为200mm。 - 最大温度：1100ºC。 - 30段可编程温度控制。 - 气体在进入射频等离子体发生器之前，先经过加热器。 - 可将固体材料放置在加热器中进行蒸发并与气相混合。 - 石英管尺寸：50mm 外径 x 44mm 内径 x 2200mm 长（80mm 外径管可按额外费用提供）。 - 包含真空法兰。
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抗腐蚀压力计 | - 测量范围：3.8x10⁻⁵ 到 1125 Torr。 - 抗腐蚀，气体类型独立。 - 在大气条件下具有高精度和重现性，确保可靠的大气压力检测。 - 快速的大气检测消除等待时间，缩短处理周期。 - 易于更换的即插即用传感器元件。 |
真空泵站与阀门 | - 安装在重型移动手推车内的240L/m重型双级机械泵。 - 在泵与管道法兰之间连接KF25适配器和不锈钢管，并配有精密球阀，方便客户即插即用。 - 处理管内可实现10E-2 Torr的真空。 |
滑动机制 | - 滑动轨道和螺丝内置于底部炉体中，可以根据程序从一侧移动到另一侧，以实现更快的加热或冷却。 - 滑动速度可调范围为0-70 mm/s。 |
加热与冷却速率 | - 配备RS485端口和软件，允许通过PC（不包括在内，客户可自行订购）远程控制温度曲线。 - 为实现最大加热速率，用户必须先将炉体预热至所需温度，然后将炉体滑动到管道的样品区。 - 为实现最大冷却速率，将加热的炉体从热区推移到冷区。 加热速率： - 15°C/sec（RT - 150°C） - 10°C/sec（150°C - 250°C） - 7°C/sec（250°C - 350°C） - 4°C/sec（350°C - 500°C） - 3°C/sec（350°C - 550°C） - 2°C/sec（550°C - 650°C） - 1°C/sec（650°C - 800°C） - 0.5°C/sec（800°C - 1000°C） 冷却速率： - 15°C/sec（1000 - 950°C） - 10°C/sec（950 - 900°C） - 7°C/sec（900 - 850°C） - 4°C/sec（850 - 750°C） - 2°C/sec（750 - 600°C） - 1.5°C/sec（600 - 500°C） - 1°C/sec（500 - 400°C） - 0.5°C/sec（400 - 300°C）
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| 规格 | - 炉体尺寸：550 x 380 x 520 mm。 - 滑动轨道：双轨道，长度为1750 mm。 - 两个相连的底部移动箱体：1200 x 1200 x 1200 mm。 - 净重：220 磅。 - 装运重量：1200 磅。 |
| Warranty | 一年有限制造商保修（消耗部件如处理管、O型环和加热元件不在保修范围内） |
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