OTF-1200X-S-II-PEC4 1200ºC可旋转双区PE-HPCVD旋转炉

产品描述

OTF-1200X-S-II-PEC4是一款最高可达1200ºC的可旋转双区等离子体增强混合物理化学气相沉积（PE-HPCVD）系统。该系统包括300W射频（RF）等离子体发生器及匹配网络、上游源蒸发舟及电源、四通道质量流量控制（MFC）气体输送系统以及高性能真空泵。这套完整的系统是热处理无机化合物粉末的优秀工具，具有卓越的温度和表面涂层均匀性（例如：在锂离子电池阴极粉末表面制备导电涂层）。

产品参数

系统结构	- 集成300W（13.56MHz）射频电源及匹配网络，实现等离子体增强处理，显著降低加工温度。（等离子体发生器位于图片右侧） - 齿轮驱动的管道旋转允许“混合”型处理，以实现最佳的处理均匀性。 - 四通道气体混合站配备质量流量控制（MFC），提供精确的气体输送控制。 - 上游源蒸发舟与钨线圈的集成，使您能够升华固体前驱体，以满足混合物理化学处理的需求。
双区旋转炉	- 工作温度：最高1100ºC（持续时间<1小时），连续加热时为1000ºC。 - 配备两个PID温度控制器，具有30个可编程段。 - 输入功率：208 – 240 VAC，单相，最大功率为1.5KW。 - 高纯度铝土矿纤维绝缘材料，最大限度地节约能源。 - 齿轮直流电机驱动石英管，变速范围为2 - 10 RPM。 - 两个加热区：每个区域长度为4英寸（100 mm），总加热区长度为8英寸（200 mm）。
等离子体射频电源	- 输出功率：5 - 300W 可调，稳定性为±5%。 - 射频频率：13.56 MHz，稳定性为±0.005%。 - 反射功率：最大100W。 - 匹配方式：自动。 - 电源：208-240VAC，单相，50Hz。
蒸发舟	- 工作温度：最高1100ºC（持续时间<1小时），连续加热时为1000ºC。 - 0.7ml铝土矿坩埚，周围环绕钨加热线圈。 - 插入K型热电偶，以确保源材料的准确温度测量。 - 工作电流：<= 30 A。
密封法兰	- 标准：2英寸外径熔融石英处理管。 - 包含一对1英寸不锈钢密封法兰，配有可旋转的气体连接针阀，可立即使用。 - 每端安装有一对1英寸外径快速断开法兰，配有KF25接口。 - 使用磁流体密封旋转接头，使管道旋转时不会扭曲火线或下游附件（如气体、粉末和电力输送线）。
管道旋转速度	- 0 - 5 RPM 可调速。
真空泵与真空计	- 附带EQ-FYP高性能双级真空泵。 - 在泵与管道法兰之间连接KF25适配器和不锈钢波纹管。 - 处理管内可实现10E-2 Torr的真空。 - 注意：真空计可提供，需另行收费，请联系我们。
气体混合站 (MFC)	- 底部机壳上安装有四个精密质量流量计（精度为0.02%），配备数字显示，能够自动控制气体流量。 • MFC 1：气体流量范围为0~100 SCCM • MFC 2&3：控制范围为0~200 SCCM • MFC 4：控制范围为0~500 SCCM - 气体进出口配件：6mm外径管配件 - 电源：208-240VAC，50/60Hz - 不锈钢针阀用于手动开/关气体供应控制。 - 大型PLC触摸屏控制，便于设置流量。
温度控制	- 采用两个加热区设计，每个区域配备独立温度控制器。 - 精确的PID控制加热、冷却速率和保持时间，支持30个可编程段。 - 内置过热和断热电偶保护。 - 过温保护和报警功能，允许无人值守操作。 - 温度精度为+/- 1 ºC。 - 三个K型热电偶（每个区域一个）。 - 配备RS485通信端口。
规格	- 炉体尺寸：1400mm 长 x 600mm 宽 x 1250mm 高（打开盖子时）；气体混合站尺寸：600mm 长 x 850mm 宽 x 700mm 高。 - 净重：400 磅。 - 装运重量：500 磅。
保质期	一年有限制造商保修（消耗部件如处理管、O型环和加热元件不在保修范围内）