OTF-1200X-S-II-PECVD 1100ºC可旋转双区PECVD炉

产品描述

OTF-1200X-S-II-PECVD是一款最高可达1000ºC的可旋转双区等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD炉）。该系统包括300W射频（RF）等离子体发生器及匹配网络，以及高性能真空泵。该系统是用于热处理无机化合物粉末的优秀工具，能实现表面涂层的均匀性（例如：在锂离子电池阴极粉末表面制备导电涂层）。

产品参数

系统结构	- 集成300W（13.56MHz）射频电源及匹配网络，实现等离子体增强处理，显著降低加工温度。 - 齿轮驱动的管道旋转允许“混合”型处理，以实现最佳的处理均匀性。 - 注意：气体罐不包括在内。
双区旋转炉	- 工作温度：最高1100ºC（持续时间<1小时），连续加热时为1000ºC。 - 配备两个PID温度控制器，具有30个可编程段。 - 输入功率：208 – 240 VAC，单相，最大功率为1.5KW。 - 高纯度铝土矿纤维绝缘材料，最大限度地节约能源。 - 齿轮直流电机驱动石英管，变速范围为2 - 10 RPM。 - 两个加热区：每个区域长度为4英寸（100 mm），总加热区长度为8英寸（200 mm）。
等离子体射频电源	- 输出功率：5 - 300W 可调，稳定性为±5%。 - 射频频率：13.56 MHz，稳定性为±0.005%。 - 反射功率：最大100W。 - 匹配方式：自动。 - 电源：208-240VAC，单相，50Hz。
密封法兰	- 标准：2英寸外径熔融石英处理管，详情请点击左侧图片。 - 包含一对1英寸不锈钢密封法兰，配有可旋转的气体连接针阀，可立即使用。 - 每端安装有一对1英寸外径快速断开法兰，配有KF25接口。 - 使用磁流体密封旋转接头，使管道旋转时不会扭曲火线或下游附件（如气体、粉末和电力输送线）
管道旋转速度	- 0 - 5 RPM 可调速。
真空泵与真空计	- 附带双级真空泵，详情规格请点击左侧图片查看。 - 在泵与管道法兰之间连接KF25适配器和不锈钢波纹管。 - 处理管内可实现10E-2 Torr的真空。 - 注意：真空计可提供，需另行收费，请点击下划线进行订购。
温度控制	- 采用两个加热区设计，每个区域配备独立温度控制器。 - 精确的PID控制加热、冷却速率和保持时间，支持30个可编程段。 - 内置过热和断热电偶保护。 - 过温保护和报警功能，允许无人值守操作。 - 温度精度为+/- 1 ºC。 - 两个K型热电偶（每个区域一个）。 - 配备RS485通信端口。
规格	- 炉体尺寸：1400mm 长 x 600mm 宽 x 1240mm 高（打开盖子时）。 - 净重：400 磅。 - 装运重量：500 磅。
容积式给料机和收集罐（可选）	- EQ-PF-1S自动给料机包括一个电动搅拌器和带有内置振动器的不锈钢料斗，旨在将固体粉末送入炉中进行连续烧结/热处理。请联系我们进行订购。 - 不锈钢收集罐（2升容量）可安装在处理管的另一端，以收集烧结后的粉末，避免暴露在空气中。请联系我们进行订购。 - 注意：请联系我们获取定制详情。
保修	一年有限制造商保修（消耗部件如处理管、O型环和加热元件不在保修范围内，请在下方相关产品中订购替换件）。
认证	- CE认证 - NRTL或CSA认证可按额外费用提供。