OTF-1200X-II-PEC4 旋转式1200ºC PE-HPCVD炉

产品描述

OTF-1200X-II-PEC4是一款最高可达1200ºC的可旋转双区等离子体增强混合物理化学气相沉积（PE-HPCVD）系统。该系统包括可倾斜框架、300W射频等离子体发生器及匹配网络、上游源蒸发舟及电源、四通道质量流量控制气体输送系统以及高性能真空泵。这样一套完整的系统是用于热处理无机化合物粉末的优秀工具，具有卓越的温度和表面涂层均匀性。

产品参数

系统结构	- 0~25°可调倾斜框架，辅助顺畅的粉末装卸。 - 集成300W（13.56MHz）射频电源及匹配网络，实现等离子体增强处理，显著降低高温处理的需求。 - 齿轮驱动的管道旋转允许“混合”型处理，以实现最佳的处理均匀性。 - 四通道气体混合站配备质量流量控制（MFC），提供精确的气体输送控制。 - 上游源蒸发舟与钨线圈的集成，使您能够升华固体前驱体，以满足混合物理化学处理的需求。
双区旋转炉	- 工作温度：最高1200ºC（持续时间<1小时），连续加热时为1100ºC。 - 配备两个PID温度控制器，具有30个可编程段。 - 输入功率：208 – 240VAC，单相，最大功率为2.5KW。 - 高纯度铝土矿纤维绝缘材料，最大限度地节约能源。 - 齿轮直流电机驱动石英管，变速范围为2 - 10 RPM。 - 分体式盖子设计，便于快速冷却和操作。 - 两个加热区：每个区域长度为8英寸（200 mm），总加热区长度为16英寸（400 mm）。 - 恒温区：在两个区域温度相同的情况下，温度波动在+/-1ºC内，长度为200 mm。
等离子体射频电源	- 输出功率：5 - 300W 可调，稳定性为±1%。 - 射频频率：13.56 MHz，稳定性为±0.005%。 - 反射功率：最大100W。 - 匹配方式：自动。 - 射频输出端口：50 Ω，N型，母头。 - 噪声：<50 dB。 - 冷却方式：风冷。 - 电源：208-240VAC，单相，50/60Hz。
蒸发舟	- 工作温度：最高1300ºC（持续时间<1小时），连续加热时为1200ºC（在炉腔加热至800ºC时可达1500ºC）。 - 0.7ml铝土矿坩埚，周围环绕钨加热线圈。 - S型热电偶插入，确保源材料的准确温度测量。 - 500W直流蒸发电源，最大工作电流为30安培。
石英管	标准：4英寸外径熔融石英处理管。包含一对60mm不锈钢密封法兰，配有可旋转的气体连接针阀，可立即使用。
炉子倾斜角度	~30°
密封法兰	- 每端安装有一对1英寸外径快速断开法兰，配有KF25接口。 - 使用磁流体密封旋转接头，使管道旋转时不会扭曲。
管道旋转速度	- 0 - 5 RPM 可调速。
真空泵与真空计	- 附带EQ-FYP高性能双级真空泵，详情规格请联系我们。 - 在泵与管道法兰之间连接KF25适配器和不锈钢波纹管。 - 处理管内可实现10E-2 Torr的真空。 - 注意：真空计可提供，需另行收费，详情规格请联系我们。
气体混合站 (MFC)	- 底部机壳上安装有四个精密质量流量计（精度为0.02%），配备数字显示，能够自动控制气体流量。 - MFC 1：气体流量范围为0~100 SCCM - MFC 2&3：控制范围为0~200 SCCM - MFC 4：控制范围为0~500 SCCM - 气体进出口配件：6mm外径管配件 - 电源：208-240VAC，50/60Hz - 不锈钢针阀用于手动开/关气体供应控制。 - 大型PLC触摸屏控制，便于设置流量。
温度控制	- 采用两个加热区设计，每个区域配备独立温度控制器。 - 精确的PID控制加热、冷却速率和保持时间，支持30个可编程段。 - 内置过热和断热电偶保护。 - 过温保护和报警功能，允许无人值守操作。 - 温度精度为+/- 1 ºC。 - 三个K型热电偶（每个区域一个）。 - 配备RS485通信端口。
规格	- 炉体尺寸：2800mm 长 x 800mm 宽 x 1700mm 高（打开盖子时）；气体混合站尺寸：600mm 长 x 850mm 宽 x 700mm 高。 - 净重：400 磅。 - 装运重量：500 磅。
容积式给料机和收集罐（可选）	- EQ-PF-1S自动给料机包括一个电动搅拌器和带有内置振动器的不锈钢料斗，旨在将固体粉末送入炉中进行连续烧结/热处理。请联系我们进行订购。 - 不锈钢收集罐（2升容量）可安装在处理管的另一端，以收集烧结后的粉末，避免暴露在空气中。请联系我们进行订购。 - 您可以在样品收集罐顶部添加一个真空门阀，以适应对空气敏感的材料。 - 注意：请联系我们获取定制详情。
保修期	一年有限制造商保修（消耗部件如处理管、O型环和加热元件不在保修范围内，请在下方相关产品中订购替换件）。
认证	• CE 认证 • NRTL 或者 CSA 可额外付费认证