PECVD-8-16 小批量PECVD炉系统（CCP型）

功率

- 电源：208-240 VAC，单相，50/60 Hz。

- 功率：9 kW。

- 包含电源线，但不带插头。MTI可协助客户添加电源插头，需额外收费。

石英管和法兰

- 尺寸：8.5" 外径 x 8.2" 内径 x 51" 长。

- 包含一个石英管，备件管可作为选项提供。

- 包含SS304法兰，配有KF40真空端口和阀门，以及气体进出接口。

- 内置双滑动轨道，直流电机驱动法兰和样品舟进出。

 石墨舟

- 石墨舟由高纯度石墨（日本）制成，配有射频电极。

- 12个插槽（4x3），可容纳6" x 6" x 0.5 mm 或 6"直径的晶圆。

- 可根据需求提供定制石墨舟（4x4或5x4），需额外收费。

- 加热元件：镍铬铝电阻丝。

- 加热区：三个加热区（300 mm + 300 mm + 300 mm）。

- 恒温区：600 mm内温度保持在±2ºC（如果三个区保持在相同温度）。

- 工作温度：400 - 1100°C。

- 最大加热/冷却速率：10°C/min。

温度控制

- 三个Eurotherm 3000温度控制器，支持24个可编程段。

- 安装有三个K型热电偶。

- 温度精度：+/- 0.1°C。

- 包含软件和PC接口模块。

射频等离子体发生器

- 输出功率：20 - 1000W 可调，稳定性为±1%。

- 射频频率：13.56 MHz，稳定性为±0.005%。

- 匹配方式：自动，配有可变空气电容器。

- 冷却方式：风冷。

- 噪声：<50 dB。

- 电源：110 - 240VAC，50/60Hz。

气体输送系统

• 四个质量流量控制器（MFC）内置于移动手推车中，精度为±1.5%FS，重复性为±0.2%FS。

  - 控制器1：0~100 SCCM

  - 控制器2：1~199 SCCM

  - 控制器3：1~199 SCCM

  - 控制器4：1~499 SCCM

• 配备触摸屏面板用于气体输送参数设置。

• 安装有RS485端口，支持通过PC远程控制。

• 根据需求可提供定制软件，需额外收费。

• 每个MFC的范围可互换，需额外收费。

尺寸: 

重量: 500kg

一年有限制造商保修（消耗部件如处理管、O型环和加热元件不在保修范围内）。