球形脉冲激光沉积系统（PLD）

安装要求

1.环境温度：10℃至35℃

2.相对湿度：不大于75%

3.电源：220V，单相，50±0.5Hz

4.设备功率：4KW以下

5.供水：水压0.2MPa至0.4MPa，水温15℃至25℃

6.设备周围环境应清洁，空气清新，不应含有可能导致电气元件或金属表面腐蚀，或导致金属之间导电的灰尘或气体。

主要参数

1.该系统具有真空室的球形结构，带有手动前开门。

2.真空室的所有部件和配套零件均由优质不锈钢（304）制成，氩弧焊，表面经过玻璃珠喷砂和电化学抛光处理。

3.真空室的有效尺寸为Φ300mm，配有可见的观察窗。

4.极限真空：≤6.67×10^-5 Pa（脱气后使用600L/S分子泵，8L/S背压泵实现）；

-系统真空泄漏率：≤5.0×10^-7 Pa·L/S；

-该系统可在40分钟内从大气压达到8.0×10-4Pa的真空；停泵12小时后，真空度≤20Pa。

5.样品台：样品尺寸φ40mm，转速1-20RPM，基板台与旋转靶之间的距离为40-90mm。

6.最高样品加热温度：800℃，温度控制精度为±1°C，使用温度控制仪表进行调节。

7.四位旋转靶标：每个靶标位置为φ40mm，快门只曝光一个靶标位置。激光束需要照射到暴露的目标位置。旋转靶具有轨道和旋转功能。

8.真空室配有烘烤、照明和水压报警装置。

9.一个用于气体入口控制的质量流量控制器（MFC）：0-100SCCM。